HJT与钙钛矿叠层电池或将成为光伏电池片终极技术，而HJT是走向终极技术的必经之路。

HJT得益于结构和材料（异质结、采用N型硅片）优势，理论上极限转化效率为28.5%，大幅高于PERC的24.5%，同时也高于单面POLYTOPCon的27.1%，接近于双面TOPCon的28.7%。

当前市场上各厂商正在加速布局HJT电池。据东吴光伏圈统计，2022年初至今，市场规划新增异质结产能达到230GW以上。#光伏#

资料来源：东吴光伏圈、广发证券、行行查

HJT电池生产环节及关键设备

相比于PERC与TOPCon，HJT电池的工艺流程简洁，仅需四步便可完成，因此良率大大提高，也更符合大规模量产趋势。

目前产业中HJT量产效率高达98%，在良率上与PERC相差无几，远胜于TOPCon。

行行查 | 行业研究数据库 资料显示，HJT电池的主要生产环节包括制绒清洗、非晶硅薄膜沉积（PECVD）、透明导电薄膜沉积（PVD）、丝网印刷四步。

对应的主流设备分别为制绒清洗设备、PECVD设备、PVD设备以丝网印刷设备等。

在设备价值量方面，非晶硅薄膜沉积以及TCO薄膜沉积制备用的设备对应投资额占比最高，分别达到约50%、25%。因此HJT整线的设备降本进程离不开这两项设备的工艺优化。

此外，新技术路线还包括激光转印、全开口钢板印刷、铜电镀、银包铜等工艺，目的是降低银耗量。#3月财经新势力#

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HJT电池各环节生产设备及供应商：

资料来源：摩尔光伏、民生证券

清洗制绒

湿法清洗制绒，为HJT制程的首要工序，该工序有两大主要目的：

清洗的目的在于形成洁净的硅片表面，减少硅片表面因不洁净而引入缺陷或杂质，从而降低结界处载流子的复合损失。

制绒是在硅片表面进行凹凸面处理，形成金字塔绒面，进而增加光在太阳电池片表面的折射次数，利于太阳电池片对光的吸收，以达到电池片对太阳能价值的最大利用率。

合格的清洗制绒设备对于药液的加热速度以及运行稳定性都有较高的要求。

此外，从化学药剂的使用方面看，各环节都用到高纯度的酸碱化学品，因此，技术领先的设备在对于元器件等设备部件的保护能力上也存在显著的优势。

目前，清洗和制绒可以在一台设备上完成，即湿法清洗设备。

海外具备生产能力的设备厂家包括德国新格拉斯（兼容臭氧工艺的设备）、德国RENA等。

国内具备供应湿法清洗制绒设备的包括捷佳伟创、YAC（迈为股份参股）以及京山轻机。

各家的技术来源以及相对优势也各有不同。

国内厂商中，捷佳伟创以清洗设备起家，为清洗制绒设备行业的龙头企业，其单晶制绒以及刻蚀清洗设备，市场占有率分别达到72%及73%。

迈为股份也通过与参股江苏启威星引进YAC全套技术，并结合了自有的半导体湿法技术，突破了HJT清洗设备，加入整线解决方案中。

由于清洗制绒设备技术门槛不高，加上国产设备厂商技术迭代快、成本低，捷佳伟创和迈为股份均具备较强的国产替代实力。#国产替代#

捷佳伟创清洗制绒设备：

京山轻机下属全资子公司晟成光伏已具备完全自主的高效及超高效HJT清洗制绒设备交付能力。

晟成光伏HJT清洗制绒首台量产设备交付成功：

资料来源：京山轻机公司

非晶硅薄膜沉积（PECVD）

PECVD为主要的非晶硅薄膜沉积技术，是HJT电池生产的第二道工序，其最终目的是形成电池的P-N结。

PECVD通过微波或射频波使腔室内的反应气体分子电离，形成的高化学活性等离子体，在基片表面发生化学反应，沉积成膜。

PECVD设备技术壁垒高。目前国内具备PECVD设备供应能力的企业包括迈为股份、钧石能源、理想万里晖、捷佳伟创、金辰股份等，海外具备生产能力的企业包括梅耶博格、美国应用材料（业务转型，已不对外销售设备）等。整体来看，目前国内HJT电池用的PECVD设备的供应商仍以国内企业为主。

在镀膜工艺上，迈为股份和钧石能源都具备I-IN-P镀膜设计应用能力。

另外，迈为股份在异质结电池PECVD设备环节，新引入大尺寸PECVD设备喷淋电极板放电阴极结构设计技术；钧石能源的PECVD设备引入微晶掺杂层工艺。

捷佳伟创在2020年自主研发出异质结板式PECVD并实现出厂交付。

上海理想万里晖的前身是理想能源的PECVD事业部，2012年拆分重组。目前主要产品为用于HJT电池生产的PECVD设备。

2022年3月，晋能科技与金辰股份合作开发的首台国产微晶异质结PECVD工艺设备运抵晋能科技。

捷佳伟创HJT板式PECVD设备：

资料来源：捷佳伟创

TCO沉积

TCO沉积包括RPD（反应等离子体蒸镀）和PVD（物理气象沉积）。

其中，PVD是指将材料源表面气化并通过低压气体/等离子体在基体表面沉积，包括蒸发、溅射、离子束等。

HJT电池主要采用磁控溅射法，其原理是稀薄气体在异常辉光放电产生的等离子体在电场作用下，对阴极靶材表面进行轰击，把靶材表面分子、原子、离子及电子等溅射出来，沿一定的方向射向硅片表面形成镀层。

RPD的薄膜生长速率、成膜质量和电学性能更优秀，但靶材成本较高。

国内主要厂商迈为股份、钧石能源、理想等具备PVD设备制造能力，捷佳具备PVD和RPD设备制造能力。

丝网印刷

金属化目前通常采用丝网印刷。迈为股份是丝网印刷龙头，市占率常年维持在70%+。另外捷佳伟创等也推出其异质结丝网印刷设备。

铜电镀

HJT产业化过程中，金属化降本是当前最迫切任务，电镀铜作为完全无银化的颠覆性降本技术应运而生，能够有力解决异质结电池银浆成本高的痛点，符合光伏发展第一性原理。

电镀铜技术使用金属铜代替全部的金属银，铜材料价格低廉，并且双面金属化可以同时完成，电镀铜技术的应用可以在银包铜技术路径的基础上，进一步降低异质结电池成本。

HJT太阳电池电镀铜电极结构：

目前，国内进行图形化设备开发的公司主要有苏大维格、天准科技、迈为股份等，开发电镀设备的有捷得宝、罗博特科、太阳井、东威科技等，年内预计有中试线落地的有捷得宝、国电投、海源复材、迈为等，中试线将使得铜电镀降本增效的可见度进一步提高。

值得注意的是，光伏电镀铜目前仍处于测试验证阶段，并未实现量产，如技术导入不及预期，电镀铜工艺量产线难以投产，将会抑制铜电镀设备的市场需求。#电镀铜#

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