大连造“芯片血液”为国家集成电路产业“供血”

电子特气是半导体制造的关键原材料，被称为“芯片血液”。大连立足化工产业基础优势，强化产学研合作和工艺技术革新，在高品质电子特气开发和制备设备等方面不断取得突破，为国家集成电路产业发展贡献力量。

日前，投资1.5亿元的大连大特气体科技有限公司新工厂在松木岛化工产业开发区建成投产，采用行业领先的制备工艺和生产装备，重点生产标准气和电子混合气。其中，多种高品质电子混合气填补国内空白，受到市场欢迎。

大连大特气体科技有限公司研发总监李福芬介绍说：“国内比较急需的电子混合气的研发方面，现在成功研制出了十几种，比如说氢磷烷、氩磷烷混合气体、硅磷烷混合气体，都是现在比较急缺的。”

大连大特气体科技有限公司生产总监台锡东表示：“生产订单处于饱和状态，一天生产订单项数能达到250项左右，我们必须以加班的形式来完成生产任务。”

目前，电子特气有上百种，几乎渗透到集成电路生产每个环节，是硅片之后的第二大耗材，也是国家重点攻关的“卡脖子”新材料项目。近年来，我市出台优惠政策大力发展集成电路产业，引导和支持企业加大研发投入，相继突破多个工艺瓶颈和技术难题，推出应用于更加高端新型的电子特气品种，为半导体关键材料国产化注入大连力量。

大连科利德光电子材料有限公司副总经理计燕秋告诉我们：“公司生产的高纯丙烯、COS（氧硫化碳）、NO（一氧化氮）等都是新品种，也都用在新的制程上，从28纳米一直到14纳米、7纳米，甚至是5纳米，这个规模在国内应该也排在前列。”

电子特气纯度越高，刻画的纳米级集成电路质量越好。立足产业链和工业链协同发展，我市积极推动产学研合作，瞄准关键设备国产化，加大高纯气体制备设备研制并取得突破。目前，我市电子特气产业上下游重点企业纷纷启动新产品研发和扩产计划，预计两年内产能将实现倍增。