芯片作为科学技术的核心，对于工业发展而言，其重要性堪比粮食。

由于中国在半导体领域起步较晚，在芯片的供给上多依赖于外国进口。然而随着国际形势的改变，中国在芯片的供应上却多次被“卡脖子”，渐渐地，人们开始意识到国产芯片的重要性。

在国产芯片的制造上，人们大多时候会把目光放在了光刻机和蚀刻机上面。但其实还有一个至关重要的生产设备被人们遗忘了，在芯片的生产中，量测设备也起着非常重要的作用。而且该设备目前也已实现100%国产，创始人还是开国上将之子！

量测设备在芯片生产中的重要性

近年来，随着科技与经济实力的同步发展，中国芯片已逐渐实现自研、自产。

不过相比光刻机、蚀刻机等知名设备上，其实在国产芯片制造的背后，还有一个设备在发挥着至关重要的作用。如果把光刻机称为芯片的生产机器，那么量测设备就是检验机器，同时也是芯片生产最后的“把关者”。

众所周知，芯片作为高端的科技产品，在工艺和成品的规格上都有极为严格的要求，仅仅只相差1mm都可能会影响到芯片的性能。

不管是对于半导体材料的选择还是成品的检验，都离不开量测设备，其重要性堪比光刻机。但由于早期的中国在半导体领域上缺乏经验，所以量测设备也曾严重依赖于进口，在量测设备的制造上也经历过空白期。

据相关数据统计，目前美国的科磊、应用材料以及日本的日立高新企业仍占据着全球量测设备一半以上的市场份额。但近年来，我国在量测设备的制造上也逐渐实现了100%国产化，国内量测设备的主要生产商包括东方晶源、中科飞测、上海精测和上海睿励这四大企业。

上海睿励企业的创始人—吕彤欣

众所周知，目前国际芯片市场主要以使用12英寸硅片为主。

硅片体积越大，对于量测设备而言面临的困难程度也在相应增大。

当然，国际市场上也有专门用于检验12英寸硅片的设备，分别是CD-SEM和薄膜厚度测量设备。但并不是所有企业都有能力生产出这两种设备，目前国内能胜任这一技术的企业就包括了上海的睿励企业。

上海睿励作为中微公司的子公司，所占据的股份比例达到20%。

上海睿励企业创立至今已有17年，其创始人是吕彤欣。可能很多人对这个名字感到陌生，但他父亲却是家喻户晓的名人，吕彤欣的父亲是开国上将吕正操。

吕彤欣出生于1951年，大学毕业于北京航空学院，凭借着对高科技制造业的热爱，又于1986年经自费公派赴美国的爱荷华州立大学留学，1992年成功获得电机工程博士学位。

吕彤欣在美国加州硅谷高科技企业工作了一段时间，积累到一定的经验后，在2002年毅然选择回国创业。

自古英雄出少年，其团队在吕彤欣的带领下，终于在2021年底，成功自研出可支持5nm的芯片设备，成为目前国内唯一一个进入韩国三星芯相关产业链的量测设备。

在芯片设备的研发上，吕彤欣可谓是妥妥的科班出身。

上海睿励企业的发展现状以及前景

一个公司的发展离不开管理者的正确决策。当时的上海睿励企业只有85名员工，但在吕彤欣的带领下，却能够在仅16年的时间里获得了100多个专利数。

在2021年，睿励企业生产的TFX3000以及TFX4000系列的设备数量共有30台，技术先进的同时，产量也较为稳定，并且还被应用到了韩国三星芯片制造产业链中。

早在2000年，上海睿励企业就已经推出了12英寸光学薄膜两侧设备，其良率已经高达99.99%。而到了2021年，睿励企业就又推出了新一代的光学膜厚量测设备—TFX4000i，性能全面升级的同时，还可适用于5nm的前后道工艺以及10nm级DRAM等多种制造生产线，可适用的范围已越来越广。

随着上海睿励企业的快速发展，越来越多的投资者看到了其带来的商业价值，纷纷都想参与其中，支持5nm良率99.99%。

现如今睿励企业已敲定了浦东科创集团、上海同祺等投资机构，并且成功地完成了1.2亿元的融资。相信在大量资金和科学技术的支持下，上海睿达企业在芯片设备的制造上会更上一层楼。

结语

近年来，随着经济的发展，我国在国际贸易市场中的地位越发重要。中国不仅是全球最大的消费市场，还是著名的世界级“工厂”，中国制造响彻大江南北。但在芯片的供应上，我国却极度依赖于国外进口。

在经历了几次“卡脖子”事件后，国产芯片开始走上自产的道路。继光刻机之后，国产量测设备的良率也实现了99.99%，可适用于5nm的前后道工艺。而国内量测设备的开发商就是就包括了睿励企业，其创始人竟是开国上将吕正操的儿子吕欣彤，父子二人可谓是把一生都贡献给了祖国。

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