2024先进封装设备深度报告：AI驱动先进封装加速发展 （附下载）

AI等驱动先进封装产业加速，HBM/CoWoS成为重要增长点。1）供给端：全球范围内，日月光、英特尔、三星、台积电等OSAT、IDM、FAB厂商龙头均积极布局先进封装，长电科技、通富微电、华天科技等OSAT龙头同样具备较强市场竞争力。此外，华为积极布局先进封装领域，有望成为先进封装产业化重要推动者。2）需求端：AI、HPC需求放量背景下，英伟达、AMD相继推出GPU新品，HBM和CoWoS产能供给紧张，海力士、三星、台积电等扩产动力强劲，有望明显拉动2.5D/3D封装市场需求，Yole预计2027年全球先进封装市场规模有望达到572亿美元，2021-2027年CAGR约10%，具备持续扩张潜力。 先进封装技术路线快速升级，不断催生新的工艺需求。1）FC封装：核心工艺变革在于新增凸块制备，涉及光刻、涂胶显影、刻蚀等传统图形化工艺，同时对电镀铜需求度较高。2）WLP封装：为实现晶圆和凸块的电气连接，WLP封装主要新增再布线层（RDL），主要涉及光刻、涂胶显影、刻蚀、溅射沉积、电镀铜等传统制程类制备工艺。3）2.5D/3D封装：相较2D封装，硅通孔（TSV）为2.5D/3D封装核心增量技术工艺，涉及TSV刻蚀、气相薄膜沉积、电镀铜、CMP等工艺。为进一步提升器件集成度，2.5D/3D封装对于晶圆减薄技术要求明显提升，同时催生临时键合和解键合新需求，以及混合键合等高密度互联等工艺。

报告节选：