突发！ASML两款光刻机出口许可被吊销，美国政府要求立即停止向中国销售先进芯片设备｜硅基世界

（图片来源：钛媒体App编辑拍摄）

钛媒体App获悉，北京时间1月2日，荷兰光刻机龙头阿斯麦公司（ASML，NASDAQ: ASML）向钛媒体App展示一份声明中称：荷兰政府部分撤销了此前颁发的NXT:2050i和NXT:2100i光刻机在2023年发货的出口许可证，这将对ASML在中国的个别客户产生影响。

“我们预计此次出口许可证撤销及最新的美国出口管制限制不会对我们2023年的财务情况产生重大影响。在近期与ASML的沟通中，美国政府对其出口管制的适用范围和影响进行了进一步澄清。美国2023年10月17日发布最新出口管制规则，限制向个别先进芯片制造晶圆厂发运特定型号的中高端DUV（深紫外线）浸润式光刻机。”ASML方面表示。

ASML在声明中强调，公司将持续致力于遵守经营所在国家/地区所有适用的法律和法规，包括出口管制法规。

另有消息称，在ASML发布官方声明前夕，美国政府官员就要求ASML立即停止预先安排的部分机器向中国客户发货。

据悉，DUV光刻机被用于生产28nm及更成熟制程的芯片。理论上，在多重曝光技术下最高能制造10nm芯片产品，主要供应商有荷兰ASML、日本尼康、日本佳能等厂商。

ASML在全球芯片供应链中占据着至关重要的地位。在半导体制造行业，DUV光刻机可以用于制造7nm及以上制程的芯片，涵盖了大部分数字芯片和几乎所有的模拟芯片，随着先进制程向5nm及以下进化，EUV成为未来光刻技术和先进制程的核心，主要用于7nm及以下先进芯片制造工艺，荷兰ASML是唯一的供应商。

因此，ASML设备出口限制会对全球半导体产业产生重要影响。

涉及此次出口许可禁令的两款设备中，ASML TWINSCAN NXT:2050i是一款高生产率、双级浸没式光刻工具，专为在先进节点批量生产300mm晶圆而设计；而另一款NXT:2100i 是双级浸没式光刻设备，其配备了新的投影光学调整系统，ArF光源为193nm，每小时光刻的晶圆数量达295片，主要用于光刻40nm-28nm芯片。

2023年3月，荷兰政府宣布对半导体技术出口实施新的限制，要求ASML需要申请出口许可证才能装运DUV光刻机。从ASML的解读来看，该新规主要涉及能生产先进制程芯片的高端DUV光刻机型号的采购，暂不影响2000i之前的型号。该禁令于9月1日起执行。

据ASML财报显示，截止9月30日的2023年前三季度，ASML全球净销售额达203.21亿欧元，而中国区同期收入约合52.67亿欧元，占比25.91%左右。预计整个2023财年，ASML全球销售额增长30%，将达270多亿欧元。

2023年9月，ASML宣布，该公司已经申请部分产品出口许可证，这一许可证允许其在2023年内向外出售NXT:2000i以及更先进的NXT:2050i、NXT:2100i等DUV光刻机。而2024年刚开年，这一许可证被吊销。

2023年10月，ASML即将离任的首席执行官温宁克（Peter Wennink）表示，美国和荷兰的新限制措施将影响ASML在中国多达15%的销售额。

ASML全球副总裁、中国区总裁沈波早前向钛媒体App透露，到2023年底，ASML在中国的光刻机加上量测的机台装机量接近1400台。基于对产能的判断，ASML目标是在2025年底或2026年初，具备每年500台-600台深紫外（DUV）的设备产能。（详见钛媒体App前文：《对话ASML中国区总裁沈波：中国已有近1400台，ASML为何能领军光刻机市场？ 直击·2023进博会》）

目前，ASML公司正处于管理层交替时期。2023年11月30日，ASML监事会宣布，拟任命现任首席商务官兼管理委员会成员 Christophe Fouquet 担任公司下一任总裁兼首席执行官。该任命须经4月24日的年度股东大会批准。届时，ASML联席总裁兼CEO温宁克，公司总裁兼CTO Martin van den Brink将在完成当前任期后从公司荣休。

有消息称，美国国家安全顾问沙利文（Jake Sullivan）于去年底致电荷兰政府，要求荷兰政府对ASML的DUV光刻设备进行限制，但荷兰要求美国政府直接与ASML联系，以讨论DUV光刻机的发货事宜。而在ASML的出口许可证到期前数周，美国政府就要求ASML取消一部分向中国出口的机器，但并不清楚其具体的数量，这些设备每台的成本可能高达数千万美元。

ASML预计目前被撤销的出口许可证以及美国最新发布的出口管制措施不会对其2023年业绩产生重大影响。

针对美国政府和荷兰政府对华限制出口光刻设备，中国外交部发言人毛宁日前表示，近年来，美国为剥夺中国发展权利、维护自身霸权，泛化国家安全概念，将经贸科技问题政治化、工具化，胁迫诱拉一些国家对华采取出口限制措施。有关霸凌霸道行径严重破坏市场规则和国际经贸秩序，不仅损害中国企业合法权益，也严重冲击全球产业链供应链稳定和世界经济发展，中方对此坚决反对。中方希望荷方秉持客观公正立场和市场原则，尊重契约精神，不滥用出口管制措施，维护国际产业链供应链稳定和自由开放的国际贸易秩序，维护中荷两国和双方企业共同利益。

毛宁强调，中国坚决反对的是人为干扰经贸合作、人为破坏全球产供链稳定，这不符合任何一方的利益。

（本文首发钛媒体App，作者 林志佳）