EUV光刻机中国能不能独自研制出来？

ASML的EUV光刻机

近期华为麒麟芯片回归的消息传得沸沸扬扬，大家对我国的半导体产业发展也都非常关心。继证券日报公开报道后，官媒新华网也公开报道国产浸没式DUV光刻机预计年底交付客户使用，而且国产EUV也取得重大进展。官方正式宣布国产浸没式DUV光刻机年底交付，就意味着国产浸没式DUV光刻机已经研制成功。而且也已经通过批量生产芯片的检验了。那么我国是不是有能力独立研制成功EUV光刻机呢？在网上广泛流传着这样一个说法，说任何一个国家想要独立制造EUV光刻机基本都是不可能的。因为ASML的EUV光刻机汇集了全球超过5000家供应商，由10万多个零部件组装而成。这些供应商遍布全球，其中一些企业的产品甚至在全球范围内是独一无二的。因此要想独立制造EUV光刻机，一个国家必须同时具备光学技术、材料技术、光源技术以及真空技术等多个方面的能力。

EUV光刻机的光学系统

那么是不是一个国家就不能单独制造出EUV光刻机呢？我们想说，这个问题对于西方国家来说是成立的，但是对我们来说是不成立的。这不过是一个高科技版的小马过河的故事。因为没有任何一个西方国家的工业体系是完整的！像西方国家中工业能力最强的美国和德国，美国就没有高铁产业，德国就没有显示面板产业。要说一个国家凑不齐EUV光刻机的所有零部件供应商，对西方国家来说那是很正常的。能够建立起完整的工业系统需要十亿级的工业人口。但是把北美、欧洲、日本都算在一起勉强才能凑够10亿人口。所以一个国家不能独立制造出EUV光刻机，这句话对西方国家来说真的是成立的。

EUV光刻机光学反射镜系统

如果说世界上可能有那么一个国家能独立研制出EUV光刻机，那个国家一定是中国。根据联合国对全球工业产业的划分标准，世界产业可分为39个大类、191个种类、525个小类。这些工业门类我国一个都不少，也就是说我国是世界上唯一一个工业门类齐全的国家。目前全世界工业产值的30%都集中在中国，可能要不了多久中国的工业产值就会占据50%。因为未来产业聚集效应会越来越明显，工业产值集中的速度会更快。中国正在攀上人类工业体系的最顶端，还没有攻克的高科技产业已经越来越少了，人类工业皇冠上的明珠已经快给我们薅秃了。

光罩

正是因为我国有了世界上最完整的工业体系，EUV光刻机的所需的所有零部件我们都可以在国内都可以找到供应商。只不过是我国科研水平相对于西方国家有些落后，我们要花更多时间而已。不过科技是需求拉动的，只要需求有了就能拉动EUV光刻机的研制，只要工业体系完整，任何工业产品终究都是可以做出来的。虽然我们目前的技术水平可能和发达国家有些差距，但是所有零部件我们都能找到国产供应商和科研单位。

EUV反射镜

比如做EUV光源的就有哈工大、长春光机所和中国工程物理研究院第十研究所，甚至连第二代EUV光源，千瓦级的自由电子激光EUV光源都快准备好了，预计2026年验收。做EUV反射镜系统的也是长春光机所。EUV用的真空超高精度激光干涉仪是哈工大研制的。双工件台是华卓精科研制的。OPC软件是华中科大研制的。给EUV发射镜镀膜的直线式劳埃透镜镀膜装置是中科科仪控股公司中科科美研制的。该有的我们一个都不缺。

光刻机双工件台

甚至国内做光刻机的集成商都不止一个，很多人只知道上海微电子在做光刻机。其实国内还有一个光刻机集成商中国电科，已经研制成功65nm的DUV干式光刻机。虽然这不是最顶级的浸没式DUV光刻机，但是其技术水平至少也超过佳能和尼康了。因为佳能和尼康的光刻机还停留在90nm的水平。

中国电科的65nm DUV光刻机

跟很多人想象的不同，我们不是在研制成功DUV光刻机之后才开始研制EUV光刻机的。DUV光刻机和EUV光刻机是在同时研发的，进度可能只差前后脚的事。在今年四月份，中科院前院长到长春光机所考察工作，就参观了国产EUV光源的样机。这是我国EUV光刻机最后一个要攻克的关键部件，后面的工作就是进行系统集成了。我们估计如果动作快的话，今年年底国产EUV光刻机就可以拿到样机。然后就是到生产线上去调试优化，小批量生产跑数据。这个过程可能需要一年左右。也就是说最快到明年年底，国产EUV光刻机就有可能在生产线上投入大批量芯片生产。

国产EUV光刻机的光源和反射镜供应商长春光机所

所以说到底，说世界上没有一个国家可以独立制造出EUV光刻机，这其实就是想收智商税而已。无非是想在中国人的脑子里打下一个思想钢印，让中国人放弃研制EUV光刻机的努力。但是DUV光刻机做得，EUV光刻机只不过是多花点时间而已。我们立个FLAG在这里，我国的国产EUV光刻机两年内一定可以研制成功。到明年年底我们回头再来看看这篇文章，看看我们离开了白皮猪，是不是就真的造不出国产EUV光刻机。