湖南半导体装备技术攻关取得突破

红网时刻新闻7月26日讯（记者 刘志雄 通讯员 谢静波 刘代玉）7月25日，2021年度湖南省十大技术攻关“第三代半导体核心装备国产化关键技术攻关”“8英寸集成电路成套装备”2个项目顺利通过综合验收。

“第三代半导体核心装备国产化关键技术攻关”项目由中国电子科技集团公司第四十八研究所（以下简称中国电科48所）承担，项目突破了6英寸SiC外延生长、高温高能离子注入机工艺性能、产能、稳定性、可靠性提升等关键技术，实现了6英寸SiC外延生长设备、SiC高温高能离子注入机国产化与工程化，满足规模化量产工艺要求，并具备产业化应用能力，目前已在国内多家第三代半导体芯片制造企业上线应用。项目实施期内申请发明专利15项，发布规范标准等4项。

“8英寸集成电路成套装备”项目由湖南楚微半导体科技有限公司和中国电科48所共同承担。项目完成了43台（套）国产核心工艺装备的上线验证，整线工艺装备国产化率达95%，目前产线已达到2万片/月生产能力，芯片良率达98%。立式炉开展了高均匀性热场、薄膜均匀性控制技术、高精度智能传输技术、超洁净微环境控制等关键技术攻关，硅外延设备研发实现了功率器件高附着力、高膜厚均匀性、高工艺重复性等特殊工艺要求，两类设备均完成工艺验证并实现产业化生产。项目实施期间内累计实现销售收入2.05亿元，申请发明专利16项，已授权2项。

近年来，省科技厅围绕产业链部署创新链、围绕创新链布局产业链，推动新技术新产品应用示范，为经济发展带来新的增长点。

省科技厅监督与诚信处、高新处、省科技事务中心、长沙市科技局等相关负责人参加验收会议。