半导体设备产业链核心投资标的梳理

一、芯片生产设备

光刻机：

张江高科持有上海微电子10.76%的股权，上海微电子能够生产光刻机；

刻蚀机：

中微公司刻蚀设备收入31亿，目前等离子体刻蚀设备可以用在5nm线上；

北方华创布局涵盖刻蚀、沉积、清洗、热处理、检测等多环节，属于平台型企业；

薄膜沉积设备：

北方华创：刻蚀机、PVD、CVD、氧化/扩散炉、退火炉、清洗机等产品；

中微公司：业务包括刻蚀设备、MOCVD和备品备件。

原子层沉积设备：

微导纳米：原子层沉积设备龙头；21年收入4.28亿；

拓荆科技：产品包括PECVD设备，ALD设备，SACVD设备；

CMP抛光设备：

华海清科：300系列化学机械抛光设备 、 200系列化学机械抛光设备

清洗设备：

盛美上海：22年半导体清洗设备营收20.78亿；

北方华创：布局涵盖刻蚀、沉积、清洗、热处理、检测等多环节；

芯源微：涂胶/显影机，喷胶机，清洗机，去胶机，湿法刻蚀机；

离子注入机：

万业企业：万业企业控股子公司凯世通是国内离子注入机龙头，目前产品包括自产离子注入机、离子注入平台、离子注入机耗材备件等；

前道量测设备：

精测电子：产品包括面板显示检测、半导体量测检测、锂电池检测设备；

赛腾股份：2019年收购日本OPTIMA株式会社，进入半导体检测装备领域；、

封测设备：

长川科技：半导体封测设备龙头企业，生产测试机、分选机；

华峰测控：半导体自动化测试系统，测试系统配件；

金海通：平移式测试分选机、重力式测试分选机、转塔式测试分选机；

和林微纳：21年芯片测试探针台收入1.56亿；

二、设备零部件：

新莱应材：半导体管阀核心零部件供应商；

富创精密：国内半导体设备精密零部件的领军企业，能够量产应用于7nm工艺制程半导体设备的精密零部件制造商；

江丰电子：半导体靶材龙头，公司新开发的各种精密零部件产品主要包括传输腔体、反应腔体、膛体、圆环类组件、保护盘体、冷却盘体、喷淋头等已经在多家国内半导体设备及芯片制造头部企业实现批量交货；

三、半导体材料

硅片：12英寸的国产化率10%

沪硅产业：8英寸和12英寸半导体硅片，12英寸产能60万片/月

立昂微：8英寸和12英寸半导体硅片，12英寸产能45万片/月

TCL中环：8英寸和12英寸半导体硅片，12英寸62万片/月

神工股份：8英寸硅片

有研硅：8英寸硅片

电子特气：国产化率15%

华特气体：2021年特种气体收入7.97亿；

南大光电：2022年特气产品收入11.95亿；

金宏气体：2022年特种气体收入7.44亿元；

昊华科技：2021年特种气体收入1.16亿元；

抛光液抛光垫，国产化率30%

安集科技：2022年化学机械抛光液收入9.51亿；

鼎龙股份：抛光垫、抛光液收入5.22亿元；

光刻胶：国产化率10%

南大光电：公司ArF光刻胶验证工作正在稳步推进；

彤程新材：公司目前生产半导体光刻胶、显示面板光刻胶等，半导体光刻胶还包括G/I线、KrF光刻胶。

晶瑞电材：2021年光刻胶及配套产品收入2.74亿元；

湿法电子化学产品：国产化率20%

晶瑞电材：高纯双氧水、高纯硫酸、高纯氨水等电子材料均达到SEMI G5等级，批量供货国内头部半导体企业；

江化微：2022年超净高纯化试剂收入6.28亿；

新宙邦：电池化学品、有机氟化学品、电容器化学品和半导体化学品

靶材：国产化率30%

江丰电子：22年超高纯靶材收入16.11亿元；

有研新材：公司业务分为“电磁光医”四大板块。电板块：集成电路用靶材、贵金属等业务，对应全资子公司有研亿金；