王敏

美国密歇根大学的研究人员开发了一种具有方向感和高空间分辨率的超薄触觉传感器，其灵敏度是人手指尖的10倍。

触觉传感器可应用于机器人、人机交互等领域；目前大多数触觉传感器使用基于压阻或电容效应的微机电系统，空间分辨率通常小于1mm2，比人手指尖灵敏度低近1000倍。研究人员开发出一种光学压电纳米传感器，具有高传感精度和探测范围。首先使用金属有机化学气相沉积法制备160万个高450nm的氮化镓超细纳米柱，将100 150个纳米柱组成单个矩形阵列，两个矩形阵列两两正交形成一个节点，由64个节点组成整个传感器。研究表明：施加在传感器上的剪切应力导致电子和空穴径向分离，产生光强度变化；传感器有效探测范围为 1~30 mN，精度 1.3 mN，空间分辨率为 40 μm，灵敏度比人手指尖高出近10倍；且阵列中 25% 的纳米柱受损时传感器仍然有效。

这项研究可应用于假肢，机器人和触觉传感器等领域。

论文：Ultrathin Tactile Sensors with Directional Sensitivity and a High Spatial Resolution