从展台到产线：国产半导体设备迎来量产时刻

在最近举办的湾区半导体产业生态博览会上，一个信息被反复提及：新凯来旗下的半导体设备已经实现量产，并且被国内多家晶圆厂投入使用。这家成立于2021年、由深圳国资控股的企业，其前身是华为2012实验室旗下的“星光工程部”。经过四年发展，新凯来员工规模接近两万人，在手订单超过100亿元，客户包括中芯国际、上海华虹和长江存储等中国领先的芯片制造商。

新凯来此次展示的设备覆盖半导体制造的关键环节，包括刻蚀、薄膜沉积、光学检测、光学量测等。与去年集中展示多款设备引发关注不同，今年的重点已经从“推出了什么”转向“用得怎么样”。半导体设备行业技术门槛高，验证周期长。一台设备即便技术指标达标，也需要与客户的工艺流程、材料及其他设备长期磨合，其稳定性、良率表现和持续运行能力都需要在实际产线中验证。因此，“进入量产”意味着这些设备已经跨过样机阶段，开始接受真实生产环境的检验，这是国产设备从单点突破走向全流程覆盖的关键一步。

新凯来的产品矩阵覆盖了半导体前道制造的全流程。其中，刻蚀设备和薄膜沉积设备的本土份额分别达到31%和27%，但工艺控制（量检测）环节的本土份额仅约10%。量检测设备是晶圆制造过程中的“眼睛”，在先进制程中，哪怕微米级的瑕疵都可能导致整批芯片报废。长期以来，这双“眼睛”主要依赖进口。新凯来在量检测领域的投入，包括新增公开的PMI图形掩模缺陷检测设备和mEBI多电子束晶圆缺陷检测设备，正是瞄准了这一薄弱环节。

除了制造设备，高端电子测量仪器也是国产替代的重要战场。新凯来旗下子公司万里眼在展会上透露，其去年发布的90GHz超高速实时示波器目前需求旺盛，“产能有点跟不上”。这款示波器带宽达90GHz，位居全球第二，打破了西方国家对中国60GHz以上实时示波器的出口管制。它采用“慧眼”架构，采样率高达每秒2000亿次，存储深度达到40亿样点，能够精准捕获并分析纳米芯片的瞬态信号。测量仪器被行业称为“设备的设备”，是负责定量和校准的“龙眼”。没有精准的测量，就不可能有高性能的设备和产品。万里眼的突破，本质上是在解决国产半导体设备的校准和验证问题，为整个产业链提供可靠的“标尺”。

在工业软件领域，新凯来的另一家子公司启云方也在推进国产化。启云方去年发布了原理图和PCB设计软件，今年将推出新的硬件设计工具链平台，将原理图设计、PCB设计与仿真、结构设计及设计审查等软件进行集成。他们的EDA软件支持百人协同绘制电路原理图、20人协同设计PCB，将产品上市周期缩短了40%以上。EDA软件是芯片设计的“工业母机”，长期被国外企业垄断。启云方的突破在于对底层技术的重构，从底层硬件资源、操作系统、中间件到业务模块，均实现了100%自主可控。他们还推出了国产化CIM（计算机集成制造）系统，作为晶圆制造工厂的“神经中枢”。该系统已在10多条12英寸晶圆厂产线落地应用，并于2025年完成了超大型晶圆厂的交付。

国产半导体设备的发展，不仅仅是技术突破，更是一个系统工程。从单点工具能力建设向系统级工具链协同延伸，是国产EDA应用拓展的新路径。启云方提出的“单点突破+体系建链”产品设计思路，旨在解决国产EDA工具碎片化的痛点，通过数字化开发平台连接不同专业工具，推动研发流程、多角色协作和研发数据的协同。这反映了国产半导体产业从“单打独斗”向“抱团协同”的生态化创新转变。

然而，国产半导体设备要真正实现替代，仍面临挑战。半导体设备的验证和成熟化需要与客户共同推进，部分设备验证较快可能需要几个月，也可能达到半年左右，实际周期取决于设备类型及客户需求。此外，客户往往希望设备一开始就是成熟的，最好已经在其他地方量产过。这意味着国产设备厂商需要解决的，不只是“能不能做出来”的问题，还包括如何让客户愿意尝试，以及如何在实际生产过程中持续提高设备成熟度。

国产半导体设备正在从实验室走向产线，从“样机”走向“量产”。这一转变意味着国产设备开始接受真实生产环境的检验，也标志着中国半导体产业链的自主可控能力在提升。随着越来越多的国产设备进入晶圆厂，越来越多的国产软件应用于研发流程，一个更加自主、可控、高效的半导体产业生态正在形成。