中国造不出光刻机？中科大副院长：美国造不出，中国永远都不可能

2024年9月，中科大前副院长朱士尧一句“美国造不出，中国永远都不可能”，把光刻机话题炸上热搜。

有人骂他长他人志气灭自己威风，有人说他戳破幻想。

这话听着扎心，却是半导体产业最残酷的真相。

全球顶级光刻机从不是单个国家的独角戏，而是多国技术的大合唱，美国牵头也唱不完整首歌，中国更不可能闭门造车就搞定。

光刻机不是普通的工业设备，它是芯片制造的核心，被誉为“工业明珠”，但它并没有那么神秘，不用被神化。

简单说，光刻机的核心作用，就是把设计师画好的芯片电路图，通过特定波长的光，精准地“投影”到硅晶圆上，后续再通过刻蚀等工艺，把电路固定下来，一层一层叠加，最终做出我们手机、电脑里用的芯片。

很多人不知道，美国才是光刻技术的“老祖宗”。

1958年，美国物理学家杰伊·莱思罗普从显微镜成像原理中获得灵感，开发出了通过光学系统打印复杂微细电路的方法，这就是光刻技术的雏形。

1961年，美国GCA公司造出了全球第一台重复曝光光刻机，市场占有率一度超过60%；1973年，美国珀金埃尔默公司又造出了全球第一台投影式光刻机，直接降低了芯片制造的成本，提高了良品率，成为当时的行业霸主。

可就是这样一个手握先发优势的国家，最终却亲手放弃了光刻机产业。

原因很现实，也很值得深思。

一方面，美国本土光刻机企业的管理层过于傲慢，GCA公司的创始人格林伯格后期沉迷个人享受，忽视客户需求，甚至因为自己控制的镜头供应商无法提供合格产品，直接导致公司走向衰落。

另一方面，日本尼康、佳能的崛起，以及荷兰ASML的异军突起，不断挤压美国企业的市场份额，而美国企业没有及时跟上技术迭代，最终被市场淘汰。

2001年，ASML全资收购了美国最后一家光刻机企业的相关业务，美国彻底退出了光刻机整机研发的赛道，只能通过资本注入的方式，躲在ASML背后参与操控。

了解了美国的前车之鉴，再看中国的光刻机发展，就不会被“造不出”的唱衰论带偏。

中国的光刻机研发起步确实晚，早期面临着技术空白、资金短缺、人才匮乏的困境，而且长期受到西方的技术封锁，核心零部件、核心技术都被卡脖子，起步阶段的差距确实非常明显。

但中国和美国最大的不同，就是我们从不轻言放弃。

这些年，我们一步步突破封锁，在光刻机领域慢慢走出了属于自己的道路。

目前，上海微电子研发的SSA800系列28nm浸没式深紫外（DUV）光刻机，已经进入全面量产阶段，首批设备已经批量交付给中芯国际、华虹半导体等头部晶圆厂，设备良率稳定在90%以上，核心零部件国产化率超过85%，性能和ASML同级别机型基本持平，完全能满足商业化量产需求。

更让人振奋的是，我们不仅实现了成熟制程的突破，还在高端领域稳步推进。

中芯国际依托这款国产DUV光刻机，通过多重曝光工艺，已经实现了7nm芯片的稳定量产，良率突破80%，2026年月产能目标设定为7万片，能够稳定支撑华为手机、AI服务器、5G通信芯片的规模化出货。

与此同时，国产光刻产业链也在同步升级，南大光电的28nm高端光刻胶、科益虹源的ArF准分子激光光源、华卓精科的纳米级双工件台，都已经实现自主可控，彻底打破了海外数十年的技术垄断。

在更先进的极紫外（EUV）光刻机领域，我们也实现了从0到1的突破。

上海微电子的EUV原型机已经进入试产阶段，预计2026年第三季度完成量产验证，核心指标已经接近国际商用入门级水平。

哈工大的科研团队更是走出了一条差异化路线，研发出13.5纳米的极紫外光源，不用依赖进口天价激光器，不仅降低了设备成本，还绕开了西方的专利壁垒，虽然目前在功率上还有提升空间，但已经打通了最关键的技术瓶颈。

很多人依然会质疑，中国的光刻机和ASML还有差距，什么时候才能追上？

其实，我们不需要急于求成，也不需要和谁盲目攀比。

美国曾经的优势比我们大得多，却因为傲慢和懈怠退出了赛道；而中国从一无所有起步，一步步突破封锁，从成熟制程到高端探索，每一步都走得扎实稳妥。

ASML的CEO曾经公开表示，如果把中国逼到绝路，中国就会完全脱离西方技术生态，等我们自己搞出来，可能反过来向他们出口。

这句话背后，是对中国研发实力的认可，也是对中国突围决心的忌惮。

2026年4月，美国国会试图推动MATCH法案，计划将ASML的DUV光刻机也列入对华出口禁令，这恰恰说明，他们已经感受到了中国光刻技术的威胁，只能通过更严厉的封锁来延缓我们的步伐。

说到底，“美国造不出，中国永远都不可能”这句话，本身就是一个伪命题。

美国的退出，是自身决策和市场竞争的结果，而中国的突破，是一代又一代科研人员默默坚守、刻苦攻关的成果。

我们不否认差距，但我们更相信，只要方向正确、坚持到底，就没有迈不过去的坎。

现在的中国，已经在光刻机领域站稳了脚跟，成熟制程实现量产，高端领域稳步突破，产业链协同升级。

没有谁能一直垄断技术，也没有谁能永远阻止一个国家的发展。

中国的光刻之路，或许还有很长，但我们已经看到了曙光，而这份曙光，终将照亮我们打破技术封锁、实现自主可控的全部道路。

文献参考：