“咬死”ASML，禁止维修光刻机只是开始，轮到中国工程师头疼了！

从2019年起，美国就推动荷兰政府限制ASML向中国出口极紫外光刻机，此后这类最先进设备从未进入中国市场。

2023年9月，荷兰开始对部分深紫外浸没式光刻系统实施出口许可要求，2024年1月全面生效。

同月，荷兰政府部分撤销了针对NXT:2050i和NXT:2100i型号的许可，影响了少数中国客户。

ASML当时表示遗憾，但强调对2023年整体财务展望没有实质影响。

这些措施让中国晶圆厂不得不依赖已采购的设备继续生产，而后续服务环节很快成为新焦点。

2024年4月，美国商务部出口管制官员艾伦·埃斯特维兹前往荷兰，与荷兰官员和ASML高层会面，重点讨论已交付中国的设备维修合同。

美国方面希望进一步限制对某些工厂的维修服务。

ASML当时的首席执行官彼得·温宁克在公司股东大会上明确指出，美国限制了部分设备的美国技术零部件，但ASML能通过其他来源的备件为大部分机器提供合理维修。

他还提到，这种限制对2025年至2030年的财务影响有限，因为受影响的工厂数量不多。

温宁克4月24日正式退休，结束在ASML二十多年的职业生涯，此前他多次公开表示，过度限制可能适得其反，只会促使中国加快自主技术开发。

进入2024年底，美国更新了先进计算和半导体制造设备出口管制规则，新增了计量设备、软件等限制项目，并把更多中国晶圆厂列入受限名单。

ASML在12月2日发布声明，表示正在评估影响，但预计2025年整体业务展望不受太大冲击，中国业务（含系统销售和服务）占比约20%。

荷兰政府也表示正在研究这些新规，并对ASML部分深紫外浸没式系统的出口可能产生连锁影响。

实际结果是，中国客户在2023到2024年集中采购了一批深紫外设备，形成囤货现象，导致2024年前三季度ASML对华销售额大幅上升，但2025年预计会逐步回归正常水平。

维修环节的压力随之显现。美国持续敦促盟友收紧服务支持，2025年2月，美国官员与日本和荷兰讨论了限制东京电子和ASML工程师在中国提供半导体设备维修服务的可能性。

这相当于在零部件之外，又从人员层面增加约束。

ASML则推进实际应对，2025年3月公布年度报告，计划升级北京现有的再利用和维修中心，通过本地化操作缩短物流时间、降低备件成本，同时符合循环经济要求。

该中心不是新建，而是对原有设施的扩建升级，旨在更好支持已交付设备的维护工作。

在中国这边，晶圆厂面对的现实是，已安装的ASML深紫外设备需要定期校准和更换部件，否则产能会受影响。过去依赖国外工程师的模式现在面临许可延缓，维修窗口被压缩。

中国企业于是加速零部件和维护能力的本土化。

上海微电子装备等团队在28纳米浸没式光刻机领域取得进展，2025年上半年已实现相关设备交付和验证，国产化率稳步提升，部分环节达到70%以上。

整个半导体设备行业2025年上半年国产化率比上年同期提高12个百分点，整体接近35%，预计全年可达50%。

中微公司等企业在刻蚀等配套设备上也有突破，为光刻机的整体维护提供了支撑。

这些进展让中国工程师承担起更多责任。

过去几年，中国在半导体领域积累了经验，但光刻机高精度维护涉及光学系统、机械臂对准等复杂环节，和国际领先水平仍有差距。

企业团队现在需要自己排查故障、测试替代备件，工作量明显增加。

类似芯片代工受限时的情形又出现了：当外部支持减少，国内团队就成了焦点。

如果长时间无法完全解决，大家的注意力很容易转向本土工程师身上，带来实际压力。

所幸，北京维修中心的升级为本地服务提供了便利，物流和测试效率得到改善。

整体看，美国这一系列从出口到维修的限制，确实让ASML的全球供应链面临考验，也把自主创新的任务更紧迫地摆在中国半导体行业面前。

中国工程师们在实验室和产线上持续攻关，零部件国产化率一点点提高，28纳米及以上成熟制程的稳定运行能力逐步增强。

产业生态在这样的外部环境下，反而加速重构。业内人士常说，技术壁垒越高，自主努力就越显得关键。

这场围绕光刻设备的博弈还在继续，下一步怎么走，取决于各方实际行动和工程实践的成果。