近年来，中美科技领域的博弈愈发激烈，美国为了遏制中国半导体产业的发展，对荷兰光刻机巨头ASML可谓是“咬死不放”，一系列的限制措施接踵而至，而禁止维修光刻机这一招，更是让中国工程师们头疼不已。

美国对ASML的限制步步升级

从2019年开始，美国就对ASML下手了。当时，荷兰政府在华盛顿的压力下，拒绝批准ASML向中国出口极紫外光刻机。极紫外光刻机是制造7纳米以下先进芯片的必备设备，美国商务部通过出口管制规则，强行插足，使得ASML几亿美元的订单泡汤。中芯国际等中国客户无奈之下，只能去二手市场淘货或者另寻他法。

2020年，美国进一步升级手段，将华为拉进实体清单，这一举措顺带影响了ASML的供应链。ASML在年报中表示，由于这些规定，公司无法给某些中国企业提供技术支持。

2021年，拜登上台后，延续了特朗普的政策，商务部长吉娜·雷蒙多公开表示要挡住先进技术流向中国。受此影响，ASML的股价大幅波动，一度下跌了8%，市场对中美科技摩擦的加剧感到担忧。

2022年10月，美国商务部出台新规，限制美国公司向中国出口用于14纳米以下芯片的设备。虽然没有直接针对ASML，但由于ASML的产品中含有美国零部件，也受到了牵连。ASML第四季度财报显示，其对中国的销售占比降到了14%，无奈之下，ASML开始将重心转向台湾和韩国等地进行投资。

2023年1月27日，荷兰政府正式与美国站在同一战线，和日本一起宣布限制部分深紫外光刻机出口到中国。这些规定针对浸没式深紫外设备，从2023年9月1日起必须申请出口许可。ASML迅速发表声明，表示会遵守规则，并检查现有合同的影响。中国半导体协会回应称，这会拖慢本土产业升级，但挡不住自主研发的脚步。

禁止维修光刻机

2024年1月1日，荷兰的新出口规则正式实施，ASML随即宣布停运NXT:2050i和NXT:2100i型号的深紫外光刻机给中国。这些设备是用于制造10纳米级芯片的关键，其停货使得中国好几家芯片厂的扩产计划被迫搁置。例如中芯国际在上海的工厂，原本计划引进更多设备，如今只能依靠本土供应商来填补空缺，但短期内难以满足需求。

2024年4月，美国商务部的艾伦·埃斯特维兹前往荷兰阿姆斯特丹，与荷兰外交部长会面，催促ASML中断对中国已售设备的维护服务。ASML表示会评估影响并与客户合作，但公司新老板克里斯托夫·福凯在财报电话会上承认，美国规则会限制对少数中国工厂的维修，这意味着2019年前安装的设备，可能无法获得软件更新或零件换新。

2024年12月2日，美国商务部更新出口规则，要求ASML停供中国客户特定备件和软件更新。这一举措从供应链后端切断，使得已售设备逐渐变得低效。ASML与美国政府进行了多轮谈判，争取豁免现有合同，但进展并不顺利。

进入2025年，美国的管制仍在继续加强。2月25日，美国、日本和荷兰召开联合会议，重点讨论限制工程师跨国服务。ASML的股价在会议后下跌了5%，公司报告显示2025年第一季度对中国的销售占比降到了25%。

美国商务部副部长公开解释，新规禁止美国人支持中国先进半导体工厂，这间接影响了盟国公司的工程师行动。ASML在北京的维修中心运营受到限制，工程师需要提前几个月申请许可，响应时间从几天延长到几周。这导致中国工厂的故障率上升，上海一家制造商表示，2025年上半年光刻机的停机时间增加了15%。

中国半导体企业的应对与挑战

面对美国的层层限制，中国半导体企业如华为海思等，纷纷加大投入，致力于本土光刻机的研发。然而，光刻机技术复杂，研发难度极大，短期内难以弥补缺口。

中国也在通过其他方式进行应对，比如2025年10月10日，中国限制稀土出口，这一举措让全球半导体供应链紧张。稀土在半导体制造中有着重要的应用，中国的这一回应也对全球半导体产业产生了一定的影响。

虽然中国在半导体领域面临着诸多挑战，但也并非毫无进展。截至2025年9月22日，行业分析显示，中国通过深紫外技术延长了设备寿命，本土备件国产化率已经达到了65%。不过，在复杂维修方面，仍然需要依赖国际支持。

小结

ASML夹在中美之间，处境也颇为艰难。其2025年展望显示，总净销售预计在300亿到350亿欧元，与之前相比没有变化，但中国市场的占比将降到20%。ASML表示相信AI需求会拉动芯片市场，但美国的限制措施何时会放松，仍然未知。

美国对ASML的限制，表面上是技术封锁，实际上可能有着更深层次的目的，比如试图制造中国内部矛盾。而中国工程师们在面对设备维修困难等问题时，也在不断努力克服，中国半导体产业的自主研发之路虽然充满艰辛，但也在稳步前进。未来，中美在半导体领域的博弈还将继续，中国能否突破美国的封锁，实现半导体产业的自主可控，值得我们持续关注。

本文信源：观察者网《阿斯麦CEO罕见发声：美国越挡路，中国越迎难而上》

光明网《荷兰光刻机巨头阿斯麦回应出口管制：并非所有浸润式DUV设备出口都需获得荷兰政府许可》