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文/大壮实验室

编辑/大壮实验室

全球仅有日本的EUV光刻机技术，专利申请位居第一，就连以科技实力著称的美国，都没能拥有这门稀有高端光刻机技术，那么EUV光刻机是什么，会比原子弹还更难制造？是有多难造？

EUV光刻机技术的重要

全球目前仅有日本与荷兰掌握了EUV光刻技术，而全球唯一能够生产EUV光刻机的是荷兰的ASML公司，也是总部在荷兰埃因霍温，全球最大的半导体设备制造商之一，中文名称也可以叫做阿斯麦或是艾司摩尔。

那什么是光刻机呢？其实可以想想人体构造，其中最为重要的指挥官就是人的大脑，而光刻机就可以理解为是电子产品的运行核心，也就是人们常说的芯片，一件电子产品厉不厉害关键就在芯片，而芯片技术是既小又要优的难点技术。

纳米级精度加工，这是一种将波长为13.5纳米极紫外光，作为光源的光刻技术，在细如发丝的环境下搞研究，也是在芯片制造中不可缺少的关键一环，而制作工艺的高低，也是会直接影响芯片的性能，性能则会直接关乎电子产品的使用水平。

适应与兼容性强，EUV技术的研发与应用涉及到多项领域，无论在物理、化学、光学和材料以及机械、电子方面，都有较多的相关专利技术，这种EUV光刻技术的应用不仅可以加工硅片，还能适应于各种材质材料的微纳加工。

高制造标准不对外公布，目前能够生产和制造EUV的荷兰阿斯麦公司，汇聚了全球最顶尖的技术团队，是来自各国的技术专家，共同打造和研制出了领先全球的芯片技术，而这属其公司专利技术，不仅制造标准高，技术也并不对外分享。

复杂且需求量大，EUV光刻技术是目前制造最为复杂的技术组件之一，有超10万个复杂组件和无数的细小零部件，每个部件的设计、加工生产及最后的装配都有严格的顺序及质量工艺要求，许多国防工业或是手机制造都会对光刻机有大量需求。

中国EUV光刻机难关

光刻机的运行，主要是在其启动后，发射紫外线并去除晶圆体表面的那层保护膜，之后再将设计完成的电路图形，极为精准的投射到设备晶圆体上，将符合芯片使用的的图形射到所需的设备区域，对精准度的把握也是一项重要的考验。

虽说中国的芯片市场，才应是最具潜力的庞大市场，约能占全球33%的市场份额，而在科技制造实力上，也是处于较为领先的发展状态，但介于高端光刻机的制造技术，存在许多复杂的技术挑战，中国的光刻机设备技术，还是主要依赖进口。

供应商垄断供应，对于能够掌握这种技术的荷兰阿斯麦公司，据2022年11月4日消息，还被美予以施压，限制对华的有先进芯片技术的出口，还禁止对华供货出售光刻机，此行此举也是又为中国的高端光刻技术增加了阻力。

精度难以达到，尤其是在光刻机最早从DUV迭代到EUV后，中国的光刻机制造单位，想要突破纳米精度技术也是较难的，哪怕现在允许供货最先进的EUV光刻机到中国，可能也会因为其加工精度的把握不准确，而无法达到国产量产程度。

技术操作难点，光刻机最早是193纳米的短波紫外线DUV，而后就将其改为13.5纳米的极紫外光线，本就时薪了精度的跨越发展，还需要结合采用固定操作台与德国蔡司镜头制造厂的高端反射镜，增加反射效率的同时，还要保证操作不移位。

而面对制造困局，中国也有在积极的推进自主创新，加大力度投入建设，中国政府也出台了一系列政策，支持国内的半导体产业，发展自主可控的芯片生态系统。

目前，只有日本与荷兰掌握了这项高端的光刻机制造技术，但就两国与美国的关系，可能也就是中俄两国的技术发展有待突破，当前的一些中国芯片制造企业，也有在积极配合研发EUV光刻机，以期待实现国产化的光刻机。

光刻机与原子弹哪个更难？

也正是因为中国对于原子弹的研究发展，让世界认识到了中国制造技术的突破能力，中国能够在开始研究原子弹相差近20年的时间，就能够取得重大突破并达到领先水平，也是让一众发达国家的发展有所畏惧。

即使荷兰阿斯麦公司研制出了高端光刻机技术，但对于来自美方的施压也是欣然接受，被制造技术工艺卡脖子的中国芯片，也确实会生产起来需要耗费时间在研究制造原理之上，而原子弹则是在我国已有实物，掌握了其原理后开始的研究。

所以两厢对比之下，在完全没有实物先进光刻机的情况下，中国对于光刻机的研制也就处于了一种艰难的摸索时期，而突破来自荷兰阿斯麦公司先进技术的垄断，才是更为严峻的技术考验。

所以制造光刻机会比原子弹更难，其难点就在于那技术原理的未能完全掌握，而现也能够生产14纳米的芯片，但未能实现量产，却已经能够满足国防工业的需求，还有华为手机使用的7纳米芯片技术，也是中国新品技术的一种的突破。

虽然对于光刻机技术水平也在不断的进步与发展之中，但高端的高精度光刻机的制造生产，可能还是会面临一些问题与挑战，如果能够尽快的打破光刻机的技术壁垒，那么将会为问过得到全球芯片市场开拓更大的市场份额。

而且更高精的高端光刻机一旦能够实现国产化，那么也会为我国更多的使用芯片的制造企业降低进口技术的成本，从而增加产品质量及市场竞争实力。

中国的科技成就

中国的科技发展，一直都在国际上有着不容忽视的地位，所取得的成就更是享誉世界，像是在导航卫星上的的北斗卫星导航技术，已经可以做到与美国的GPS并驾齐驱的能力，100%国产化的北斗导航，更是被国际越有120多个国家使用。

有着我国“振国之宝”的反卫星技术寄生星，不仅可以实时观测与打击他国卫星的监测，其反制技术也有运用于武器技术中的反导能力，像我国的东风-17导弹，就应用了反导系统且由我国自主研发的，高超音速繁荣中短程常规弹道型导弹。

还有最近几年蓬勃发展的航天技术，不仅达到了国际先进水平，其中长征系列运载火箭，更是有从常温推进剂、发展到低温推进剂，从串联到并联、末级一次的启动至多次启动、还有从一箭单星到一箭多星以及由载物到载人的技术跨越发展。

多种高新技术加持下的中国科技，也在高速高铁技术、物联网络技术、云计算、生物燃料、核电、太阳能发电、深潜器建造、量子通信、激光等技术，有着较为领先的发展与制造技术实力。

虽然中国的光刻机技术发展，暂时并不具有什么优势，但一旦突破瓶颈的发展速度，却是在全球范围内有目共睹，高端的EUV光刻机技术，虽然当前还并没有真正意义上的完全掌握。

但始终低调谦逊的中国科研人员，还在不断的尝试与实验之中，那么待中国制出产的高端光刻机制造技术，可能也只是时间的问题，中国的科技发展也绝不会落后。