华海清科：首台12英寸单片终端清洗机出货

中证智能财讯 华海清科（688120 ）9月26日晚间公告，近日，公司首台12英寸单片终端清洗机 HSC-F3400 机台出机发往国内大硅片龙头企业。该产品是公司继CMP设备、减薄设备之后，在湿法设备系列产品中的又一重要布局，对公司未来的发展将产生积极的影响。

公告显示，HSC-F3400 机型是公司面向大硅片终端清洗市场特殊需求研发的一款高性能设备，该机型配备了新型清洗模块、干燥模块及颗粒与金属污染控制系统，可稳定实现大硅片正面及背面的高效率超洁净清洗。机台搭载的高性能卡盘夹持技术，确保晶圆稳定高速运转，在产能优势明显的同时，具备安全性高、工艺调整灵活、可靠性强的特点，能够以较高使用寿命满足低成本运维需求。

公告表示，本次首台12英寸单片终端清洗机出货是公司立足产业化、面向市场需求全面发展的又一重要布局，对公司未来的发展将产生积极的影响，有利于公司践行“装备+服务”的平台化发展战略。

华海清科主要从事半导体专用设备的研产销及技术服务。公司在纳米级抛光、纳米精度膜厚在线检测、纳米颗粒超洁净清洗、大数据分析及智能化控制等关键技术层面取得了有效突破和系统布局，开发出Universal系列CMP设备、Versatile系列减薄设备、HSC系列清洗设备、HSDS/HCDS系列供液系统、膜厚测量设备，以及晶圆再生、关键耗材与维保服务等技术服务。公司主要产品及服务已广泛应用于集成电路、先进封装、大硅片、第三代半导体、MEMS、MicroLED等制造工艺。

2023年上半年，公司实现营业总收入12.34亿元，同比增长72.12%；归母净利润3.74亿元，同比增长101.44%。