华陆公司：多晶硅生产新工艺大幅降低能耗和成本

　　近日，中国化学工程华陆公司“一种用于多晶硅生产提高还原沉积反应效率的方法”荣获中国专利银奖。该技术极大缩短了生产周期，提高了单位时间产量，大幅度降低了装置投资、产品电耗及生产成本，整体技术指标处于国际领先。

　　多晶硅是太阳能光伏电池产业、半导体工业和电子信息产业中重要的功能性材料，也是硅材料产业链中十分重要的中间产品，被喻为“光伏产业的基石”。

　　改良西门子法是目前多晶硅主流生产工艺，采用高纯氯硅烷在还原炉内进行气相沉积反应生产高纯多晶硅，即在1050-1080 的硅芯表面氯硅烷被还原为硅并不断沉积生长在硅芯表面形成多晶硅棒。多晶硅还原装置作为多晶硅最终产品的生产车间，同时也是多晶硅生产过程中的主要耗能单元，其能否高效、高质量生产运行，将对企业最终的产品质量、能源消耗均起到决定性作用。其气相沉积反应为多变量复杂生产过程，受多种因素影响，难以控制。

　　华陆公司多晶硅技术团队经过攻关探索，基于机理突破、模拟验证、创新实践和多年经验的积累沉淀基础上，首次提出将三氯氢硅和二氯二氢硅液体分别采用独立的汽化器和过热器，分别进行汽化和过热，三氯氢硅气体、二氯二氢硅气体及高纯氢气通过各自独立的流量控制单元，在生产过程中合适的时间控制合适的配比和流量进入还原炉进行反应。为了提高初期系统沉积效率，在反应初期控制较大比例的二氯二氢硅进入还原炉使得硅芯在初期快速增长；为了避免后期还原炉出现“雾化”等不利生产现象，在多晶硅沉积反应后期全部停止二氯二氢硅进料，从而在提高了多晶硅产品质量、生产效率的同时，避免了无定型硅粉的产生以及造成后续系统的堵塞。

　　长期以来，华陆公司坚持深耕多晶硅领域，通过自主创新已经形成了集成创新效益高的多晶硅技术群，拥有包括3000吨级、6000吨级、10000吨级、15000吨、30000吨、50000吨、100000吨级等一系列完整的多晶硅技术工艺包，实现多晶硅产品由千吨级到万吨级的跨越。目前，华陆公司多晶硅技术团队设计的多晶硅项目产能占全国总产能的90%以上。近3年国内新增的300万吨多晶硅产能项目，大多数是由华陆公司采用专有专利技术完成的工程设计。（记者 肖倩 见习记者 耿杨洋）