重大突破！“苏州造”明场检测设备再上新台阶

近日，苏州高新区太湖科学城功能片区企业天准科技（股票代码：688003.SH）参股的苏州矽行半导体技术有限公司（下文简称“矽行半导体”）重磅宣布，其首台面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的宽波段明场缺陷检测设备TB1000正式交付客户。

伴随着这款产品的交付，矽行半导体创造了一个里程碑，这也是中国半导体前道缺陷检测装备产业的一次重大突破。

国产明场缺陷检测设备的新篇章

在半导体制造流程中，前道瑕疵检测是当之无愧的关键工序之一，尤其是明场缺陷检测，能够检测更广泛的缺陷类型，是其中最为关键的一环，是提高产品良率、降低生产成本、推进工艺迭代的保障。同时，明场缺陷检测设备也是技术难度最高的前道检测设备，一直以来被国外龙头企业垄断，而矽行半导体就是为了打破这个局面而生的。

矽行半导体的技术骨干全部来自国内外知名大学，博硕比例超过80%，拥有多年半导体行业经验，旨在打造国内乃至全球领先的半导体检测装备龙头企业。此次推出明场缺陷检测设备是矽行半导体实现的重要突破，也代表着中国在半导体光学检测设备领域迈出了更加坚实的一步。

TB1000实现了精密光机电关键核心部件的自主可控，同时采用了先进的信号处理算法，有效提高信噪比，显著提升了设备在关键制程的缺陷检测灵敏度。

对于天准科技而言，TB1000的面世，进一步完善了公司在半导体领域的产品版图。

当前，天准科技正充分发挥多年来在技术、人才和产品战略等方面的储备和先发优势，以实现技术全面突围，助力半导体设备国产化，建设国际一流半导体量测与检测设备公司，为功能片区光子产业创新集群加速发展贡献力量。

苏州天准科技股份有限公司

苏州天准科技股份有限公司总部位于苏州高新区太湖科学城功能片区，致力于以领先技术推动工业数字化、智能化发展，是科创板首家工业视觉装备上市公司、国家专精特新小巨人企业、国家重大科学仪器设备开发专项牵头承担单位、工信部智能制造系统解决方案供应商。

天准科技建设有国家级企业技术中心、国家博士后科研工作站、省工程技术研究中心、省研究生工作站，担任多个全国标准化技术委员会委员单位，主持及参与制定了多项国标、行标及国家校准规范，获2022年度江苏省科学技术奖一等奖。

新闻多一点

近日，太湖科学城功能片区企业科塞尔医疗自主研发的Falexpand 外周高压球囊扩张导管获得国家药品监督管理局（NMPA）批准上市。Falexpand 外周高压球囊扩张导管适用于外周血管系统（包括髂动脉、股动脉、腘动脉、胫动脉、腓动脉和肾动脉）的经皮腔内血管成形术（PTA），并适用于治疗天然或人造透析用动静脉瘘的堵塞病变。该医疗器械注册证的取得，有利于丰富科塞尔医疗的产品种类，进一步完善外周介入领域的产品布局，不断满足多元化的临床需求，进一步增强公司的核心竞争能力。

今年来

太湖科学城功能片区发展提速

着力打造一流产业创新集群

充分发挥辖区大院大所集聚优势，同时发挥研究院成果转化落地服务实践优势，主动服务地方龙头机构与企业，搭建服务创新创业的平台载体，激发新型研发机构创新活力。

科技新

新引进高质量科技型项目82个，新引进高企培育企业50家，新引进高质量高企15家，科技招商新增项目数267个。

发展好

新增中国独角兽企业（康多）、上市企业（裕太微）各1家；入围国家专精特新“小巨人”企业15家。获批国家级科技企业孵化器1家。获批新建市级创新联合体2个（纽威数控、中移，全区唯2），累计获批4个，占全市20%。

企业优

天准科技荣获年度江苏省科学技术奖一等奖（2020年东菱振动、2021长光华芯）。普源精电获中国专利金奖，中移软件入选国家级产业技术基础信息服务类公共服务平台，均为全市唯一。

来源：苏州科技城