至纯科技：12寸炉管设备一季度会送到客户端做验证

中证网讯（记者 倪铭）至纯科技3月17日晚间披露的调研纪要表示，目前8寸炉管已有重复订单；12寸的炉管设备，今年一季度会送到客户端去做验证，主要类型是ALD Nitride。涂胶显影设备今年8寸设备验证并交付；12寸设备已经完成专利检索、技术评估并基本完成了关键单元模组和关键系统的设计，目前在着手框架搭建及DEMO UNIT，并将在今年做模组验证工作，预计明年到用户端系统验证。