号外！号外！

俄罗斯科学院近日对外宣布，其旗下的诺夫哥罗德应用物理研究所正在开发半导体光刻设备，并将于2028年生产出完全采用俄罗斯技术的光刻机，同年可实现7nm芯片量产。

国内外媒体听到这个消息，舆论迅速炸锅。

很多小伙伴们表示不可思议：“前苏联电子工业的辉煌早就过去了，俄罗斯要造出7nm的光刻机，这是在开玩笑吧？”

“讲一个笑话，90%芯片依赖进口的俄罗斯要造光刻机了”

“俄罗斯真是太天真了，他们怎么可能在6年内仅凭自己就生产出媲美荷兰ASML几十年技术沉淀的光刻机技术！”

当然，在这些质疑之外，也有人为俄罗斯科学院加油助力：“俄罗斯这是要单挑整个世界的半导体技术，支持！”

“俄罗斯的数学和物理水平世界顶级，完全可以在理论上另辟蹊径超越ASML！”

那么，俄罗斯为什么要重提制造光刻机呢？俄罗斯到底有能力在6年内制造出自研的光刻机吗？

俄罗斯为什么要造光刻机

光刻机是什么？

想必大家都有所耳闻，光刻机是芯片制造最核心、最机密、造价最昂贵的机器，它的单台价格就超过了1.2亿美元。而且，这是你即使是拿着钱也未必能买到的机器。

本来光刻机技术作为电子产业非常小众的方向，是根本不可能被全民“科普”的一项技术，但因为前两年中兴、华为的芯片被制裁，加上后面咱花费巨资向荷兰ASML订购光刻机，却被中途终止的事件发生后，社会舆论才注意到光刻机、芯片、5nm、7nm这些高精尖属性的名词。

光刻机难制造吗？

非常难，它的精密零部件超过了10多万个，它的成功生产是靠着整个西方国家几百年来的科学技术成果和积累。

那么，既然这么困难，俄罗斯为什么还要再研发自己的光刻机呢？

事实上，俄罗斯的半导体产业，是比较落后的。在智能手机，平板，以及可穿戴设备飞速发展的今天，俄罗斯作为大国，没有主流的手机、电脑等硬件产品普及全球。此外，俄罗斯电子产业所需的芯片几乎全部依靠进口，每年需要从中国购买大约70%的芯片。

俄罗斯要想重振经济，半导体产业的支持政策早就在酝酿当中了。

不过，促成俄罗斯下定决心的，还是要归功于俄乌两国冲突后的美国制裁，美国拜登全面禁止向俄罗斯出售半导体，英国和欧盟也采取了制裁措施，台湾地区的台积电也禁止向俄罗斯出口先进芯片，这实际上禁止了几乎所有拥有先进晶圆厂的合同芯片制造商与俄罗斯实体合作。

想买买不了，想造又缺设备，没办法，俄罗斯只能自己生产光刻机了。

这颇有点“被逼上梁山、不得不反”的感觉。

说干就干！俄罗斯到底行不行？

你还真别说，俄罗斯要造光刻机，还真不完全是空穴来风，一定程度上，俄罗斯也可以说是要钱有钱、要人有人、要技术有技术。

首先，咱先说说俄罗斯造光刻机有哪些能人。

承担光刻机研发任务的，是有着苏联硅谷之称，微电子技术实力雄厚的俄罗斯莫斯科电子技术学院 （MIET）承接。

这是一所非常厉害的大学，是俄罗斯高科技领域领先的技术大学，它属于俄罗斯国立研究型大学，1965年建校，特色学科就是微电子学。

之所以让MIET承接，是因为此前MIET跟一些机构合作中，在无掩膜EUV光刻机上有过研究进展（这项技术简单来说就是不同于ASML现有方案，另外一条技术路线）。

MET中的纳米电子器件研究所的研究领域覆盖X射线器件、微机电系统和纳机电系统——这些技术都与研发光刻机密切相关。

并且已经开展了部分研究，比如“基于微聚焦X射线管列阵的软X射线源研制，适用于10nm无掩膜光刻机”，就是其中之一，这项研究由RAS微观结构物理研究所的Nikolay Chkhalo教授牵头，他目前是该研究所的实验室主任，发表论文200多篇，主要研究领域为X射线光学、光学干涉测量等，成果斐然。

此外，除了MIET之外，俄罗斯在物理和数学领域的影响力绝对是世界第一梯队的存在。举个例子，2000年左右的时候，华为陷入到3G研发的技术瓶颈，后来研发团队发现一位俄罗斯数学家提出的SingleRAN算法可以取得技术突破，最后将其招致麾下，并在俄罗斯为这位数学家单独设立了研究院。

后来，采用这位数学家算法的交换机不但信号稳定，体积更小，而且成本降低了2/3，华为凭借着这款交换机，成功的打开了荷兰电信市场，最终在欧洲站稳了脚跟。

可见，俄罗斯要开发光刻机，所具备的人才储备应该不成问题。

说完了人才，咱再来说说钱。

这一点，俄罗斯可就没有咱们国家这么大手笔投入了。

根据消息，对于挑战当前最先进光刻机项目的研发投入，俄罗斯计划投资6.7亿卢布资金，折合人民币，额，大概5000多万。

不过，这6.7亿卢布是首批资金，后面应该还会有投入，再不济无非就是石油涨价多赚点外快的事了。

最后说说技术，这一点是俄罗斯坚定决心造光刻机最重要的一点。

俄罗斯研发的光刻机并非主流的EUV光刻机，技术原理与之完全不同，所以就这一点上，美国和ASML没法用专利壁垒进行限制。

说远一点，咱们为什么跟在别人步子后面永远也造不成光刻机，因为这条路子全被专利给保护住了，要想成功，只能另辟蹊径。这就像是汽油车不行，咱就换电动的，弯道超车一样的道理。

另外，俄罗斯的X射线光刻机是基于同步加速器或等离子体源的无掩模X射线光刻机，甚至在某些地方，要比EUV光刻机好。

比如，X射线的波长比EUV极紫外光要短，X射线光刻机的X射线波长在0.01nm到10nm之间，而EUV光刻机使用的是极紫外光波长为13.5nm，从数据来看，EUV光刻机能制造7nm以下芯片，无掩模X射线光刻机同样可以。

再比如，无掩模X射线光刻机不需要光掩模版，可以直写光刻，工艺环节少了一个步骤，不仅成本降低了，良品率也会得到提高。

但是，理论上来说无掩模X射线光刻机也能比肩EUV光刻机，但为什么ASML不采用这个技术路线呢？归根结底还是X射线工艺以及效率的提升上，当前全球尚且还没有任何一家机构能够解决这个问题。

可喜的是，俄罗斯莫斯科电子技术学院的科学家团队，依托“基于动态掩模模型的制造和两项控制实验研究”课题，在无掩模光刻领域方面取得了相当不错的进展。同时，还有泽列诺格勒的同步加速器，以及先进的离子源，这都给研发光刻机带来了希望。

所以，俄罗斯开发光刻机，还是有很强的技术基础的，并不是从零开始。

俄罗斯制造光刻机，对中国来说也是机遇

中国和俄罗斯，一定程度上也是同病相怜——同样都是“缺芯少片”。

正所谓苦秦久矣，这次俄乌冲突以后，西方国家对俄罗斯的疯狂制裁，足以让世界各国看到，美国的霸权主义已经接近疯癫，制裁大棒变成了如同过家家的游戏，看谁不顺眼、谁不听话就挥舞着上去乱打，所以大家心里都很害怕。

俄罗斯有优势的，是数学、物理等基础科学研究理论，他们或缺的，也正是中国的优势——发达的手机、电脑等电子消费市场，完整的设计、封装等半导体产业链，雄厚的研发经费投入，千万级别的工程技术人才。

在这样的背景下，两个大国在芯片制造领域进行些许的合作，也未尝不可。#俄罗斯决定自研7nm的光刻机#

你认为俄罗斯有能力制造出7nm光刻机吗？咱们中国是否有具备相关能力呢？

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