光刻机是芯片制造过程中最重要的设备，尤其是EUV光刻机，7nm以下制程更是离不开。但EUV只有ASML 一家能够生产，且产量有限，10多年才生产了140多台。

因此，EUV光刻机一直供不应求，台积电、三星等一直在争取。但最近消息传来，台积电将关闭4台EUV，原因众说纷纭，台积电刘德音发声却被认为是在欲盖弥彰。

台积电拥有最多EUV

EUV光刻机有多复杂暂且不提，总之目前只有ASML能够做出来，售价高达1.2亿欧元，约合人民币8.18亿元，主要用于高端制程，客户不太多，但也得积极争取。

三星为了获得更多的EUV，他们的高管两次前往ASML总部争取，也没拿到多少。

而台积电目前却拥有80多台EUV，占据ASML出货所有EUV数量的一半以上，可见这两家的关系不一般。当然，ASML和台积电在EUV成长的过程中可谓互相成就。

台积电的技术专家林本坚被称为“浸润式光刻之父”，ASML就是采用了他提出的浸润光刻技术，才推出了浸没式DUV光刻机，然后才实现了对日本尼康和佳能的超越。

而ASML光刻机的成长，也得益于台积电的积极配合。光刻机想要进入实用，就需要芯片制造厂使用并反馈问题，台积电一直和ASML共同协作，也就有了购买优先权。

台积电也因为有了最多的EUV光刻机，高端制程产能和代工市场份额都是全球最多。

EUV先进但有个缺点

EUV光刻机确实非常先进，进入7nm就要用到，虽然用DUV光刻机也能做，但需要多层曝光，成本太高且产品良率上不去，而用EUV就不用多层曝光，直接可以做。

不过，EUV光刻机也有缺点，那就是耗电非常厉害，输出的功率很低。原因就是它采用了EUV光源，波长仅为13.5nm，要把光压到这么短的波长，需要很强的能量。

然而，台积电仅EUV光刻机就有80多台，目前还在建好几个芯片厂，未来会更多。

近日，有消息显示，台积电计划关闭4台EUV光刻机。于是，结合当前芯片行业下行的趋势，英伟达、AMD、高通等客户纷纷砍单，导致台积电先进制程利用率下降。

就有不少人认为，台积电关闭EUV光刻机就是为了降低运营成本，节省耗电开支。

然而，又有貌似台积电内部传出的消息，台积电这次关闭4台EUV光刻机，只是为了将这几台设备进行升级，升级后单机产能将提升18%左右。到底哪个说得对呢？

刘德音有点欲盖弥彰

至于关闭4台EUV的理由大可不必追究，不过EUV光刻机是电老虎的传言应该非虚。

据相关统计，2020年台积电耗电量达160亿kWh，约占中国台湾地区整体能源消耗的5.9%。2021年台积电耗电量接近170亿kWh，预计2025年占比会升至12.5%。

关键是，EUV的能源转换效率极低，大概只有0.02%左右。据了解，最先进的 EUV输出功率约为250W，需要1.25MW的电力，因此一台EUV一天就要耗电3万kWh。

但面对EUV光刻机耗电、台积电成为耗电大户的情况下，现任董事长刘德音却有自己的说法，台积电技术都是最高效能也是最节能，每用1度电可为社会节省4度电。

不过，刘德音说法很多人并不苟同。有外媒表示，耗电是事实，刘德音在欲盖弥彰。

也有网友表示，刘德音这是在狡辩，生产的产品节省和生产过程中的耗电根本就是两回事。连台积电一名内部人士在接受采访时都表示，希望未来EUV用得越少越好。

台积电刘德音近期还表示，台积电将继续追求更极致的能效。其实，台积电一直不停地追求先进制程，主要还是为了能够保持技术领先，同时保障能够继续全球领先。

而英伟达CEO黄仁勋却表示，摩尔定律已经结束了，因为性能实现提升的同时并没有实现成本降低，反而成本已高得过于离谱了。这说明，台积电走得越来越偏执了！