芯源微发布的2021年年报显示，公司全年实现营业收入8.29亿元，同比增长151.95%，主要原因是半导体行业景气度持续向好，公司积极把握市场机遇，加大市场开拓力度，新签订单较上年同期大幅增长，收入规模持续增长；实现归属于上市公司股东的净利润0.77亿元，同比增长58.41%；归属于上市公司股东的扣非净利润为0.64亿元，同比增长395.83%；实现基本每股收益0.92元，同比增长58.62%。其中21Q4公司实现营业收入2.81亿元，同比增长140.64%；实现归母净利润0.24亿元，同比增长485.72%；实现扣非净利润0.18亿元，同比增长755.95%。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），可用于8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）及6英寸及以下单晶圆处理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等环节）。

毛利率下降4.50% 期间费用率下降10.33%

2021年公司毛利率为38.08%，同比下降4.50个百分点。报告期内，公司期间费用率为30.90%，同比下降10.33个百分点。其中，销售费用率为8.77%，同比下降2.57个百分点；管理费用率为11.16%，同比下降6.21个百分点；研发费用率为11.16%，同比下降2.65个百分点；财务费用率为-0.19%，同比提升1.10个百分点，主要系利息净支出、汇兑净损失增加影响所致。截至2021年底，公司合同负债总额为3.53亿元，同比增长166.43%，公司存货为9.32亿元，较2020年末4.02亿元增长131.73%。二者均反映出公司新签订单快速增长。现金流方面，公司经营活动产生的现金流量净额为-2.18亿元，同比下降1.46亿元，主要原因是公司业务规模扩大，新签订单较上年同期大幅增长，材料采购支出增幅较大。

两大产品线营收表现亮眼

分产品来看，2021年公司光刻工序涂胶显影设备实现营收5.06亿元，同比增长114.40%，毛利率为37.91%，同比下降4.98个百分点；单片式湿法设备实现营收2.90亿元，同比增长280.56%，毛利率为35.45%，同比下降3.18个百分点，主要是因为前道产品处导入期所致；其他设备实现营收0.18亿元，同比增长188.83%，毛利率为55.03%，同比提升7.90个百分点。

前道显影、清洗设备均实现放量增长

报告期内，公司前道显影、清洗设备均放量增长。涂胶显影方面，公司全年销售158台，同比增长110.58%，其中前道offline设备已实现批量销售，I-line设备已经通过部分客户验证并进入量产销售阶段，KrF设备已经通过客户ATP验收。单片湿法设备方面，公司2021年全年销售65台，同比增长248.28%，其中前道物理清洗设备获得中芯国际、上海华力、武汉新芯、厦门士兰集科、扬杰科技、青岛芯恩、上海积塔等国内多家Fab厂商的批量重复订单。