屹唐半导体屹唐科技申请对中机构相关专利,实现弧光灯电极多方向精准对中调整

来源:新浪证券-红岸工作室

9月24日消息,国家知识产权局信息显示,北京屹唐半导体科技股份有限公司、屹唐半导体科技(北京)有限责任公司申请一项名为“对中机构及对中工装”的专利。申请公布号为CN122800525A,申请号为CN202610931737.8,申请公布日期为2026年9月22日,申请日期为2026年6月25日,发明人石岱、曹红波、薛俊辉、韩永富、刘鹏,专利代理机构北京易光知识产权代理有限公司,专利代理师王英、阎敏,分类号H01J61/02、H01J61/04。

专利摘要显示,本公开实施例提供一种对中机构及对中工装,涉及半导体设备技术领域。对中机构,用于弧光灯的电极,包括:对中块体,其中心孔用于供相应的电极穿设;对中孔板,设置有与相应的电极适配的对中孔,且位于对中块体的一端;至少两个调整组件,分别与对中块体连接,且沿对中块体的轴向间隔分布;沿对中块体的周向,其中至少两个调整组件错位设置,以能够从至少两个方向对相应的电极进行对中调整。

屹唐股份是国内半导体设备领域核心供应商,主营干法去胶、快速热处理等多类晶圆加工设备,技术积淀深厚具备较强国产替代竞争力。公司成立于2015年12月30日,于2025年7月8日在上海证券交易所上市,注册及办公地点均位于北京市。

公司主营业务为集成电路制造所需晶圆加工设备的研发、生产和销售,面向全球集成电路制造厂商提供干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备等集成电路制造设备及配套工艺解决方案,同时提供备品备件及相关服务,所属申万行业为电子-半导体-半导体设备,覆盖集成电路、存储概念、半导体等概念板块。

2026年上半年,屹唐股份实现营业收入21.31亿元,在27家同行业可比公司中排名第8,略高于21亿元的行业平均水平,大幅超出8.97亿元的行业中位数,同期行业营收前两位的北方华创、中微公司分别实现201.61亿元、66.91亿元;当期公司实现净利润3.96亿元,行业排名第9,低于4.99亿元的行业平均数,显著高于1.57亿元的行业中位数,同期行业净利润前两位的北方华创、中微公司分别录得32.29亿元、27.97亿元。

指标类型统计周期公司数值行业排名/总样本数行业头部企业数值行业平均数行业中位数
营业收入2026年上半年21.31亿元8/27北方华创201.61亿元、中微公司66.91亿元21亿元8.97亿元
净利润2026年上半年3.96亿元9/27北方华创32.29亿元、中微公司27.97亿元4.99亿元1.57亿元

北京屹唐半导体科技股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1开关盖装置及半导体设备发明专利公布CN202611097193.62026-07-22CN122751904A2026-09-15刘飞、李海卫、么曼实
2用于毫秒退火系统弧光灯的电极冷却结构及散热传导机构发明专利实质审查的生效、公布CN202611050583.82026-07-15CN122677369A2026-09-01石岱、曹红波、蒙小刚、薛俊辉、张垒
3半导体设备及其组装方法发明专利公布CN202610967280.62026-06-30CN122783944A2026-09-18么曼实、王春雷、李梦涛、李欣雨、郭梦尧
4半导体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610945292.92026-06-26CN122648910A2026-08-28么曼实、李海卫、王春雷、罗功林、李欣雨
5对中机构及对中工装发明专利公布CN202610931737.82026-06-25CN122800525A2026-09-22石岱、曹红波、薛俊辉、韩永富、刘鹏
6等离子体源腔室发明专利实质审查的生效、公布CN202610710787.32026-05-22CN122513913A2026-08-04刘建生、陈保存、范强、张龙晓、卢振新、郭号、管长乐、黄印强
7等离子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610693347.12026-05-19CN122373231A2026-07-10王春雷、管长乐、么曼实、刘学良、赵俊召、刘嘉熙、刘连俊、李运华
8薄膜沉积装置及薄膜沉积方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610636695.52026-05-09CN122303852A2026-06-30龙小宝、刘春峰、韩永富、刘鹏、王子昂
9半导体处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610628464.X2026-05-08CN122535211A2026-08-07韩愈、刘春峰、张垒、许雯博
10等离子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610620563.32026-05-07CN122248625A2026-06-19王春雷、范强、肖莉莉、么曼实、段晓斌、刘建生、吕建建、李旭
11气体浓度测量装置、方法及快速热处理设备发明专利公布CN202610611860.12026-05-06CN122487294A2026-07-31曹红波、韩愈、刘春峰、石岱、赵聪
12半导体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610612736.72026-05-06CN122494532A2026-07-31周博伦、赵俊召、陈显望、范强、管长乐、宋永明、陈帅
13等离子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610604356.92026-04-30CN122248624A2026-06-19王春雷、管长乐、赵俊召、宋永明、罗功林、赵忠生、后健华、于小翠
14半导体设备晶圆转速信号的融合方法及装置发明专利公布CN202610606506.X2026-04-30CN122451795A2026-07-24甄玉旺
15匀流装置及半导体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610589030.32026-04-29CN122421702A2026-07-17周博伦、管长乐、后健华、宋永明、陈帅、卢振新
16等离子体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610578497.82026-04-28CN122373230A2026-07-10王春雷、范强、刘学良、么曼实、刘连俊、刘薇
17等离子体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610560646.82026-04-24CN122370265A2026-07-10王春雷、管长乐、范强、刘学良、赵俊召、么曼实、兰梦、刘薇
18工艺腔室发明专利实质审查的生效、公布CN202610554160.32026-04-24CN122393187A2026-07-14么曼实、王春雷、李海卫、罗功林、李梦涛
19液冷装置及等离子体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610550214.92026-04-23CN122417751A2026-07-17丁伟、管长乐、范强
20弧光灯及退火设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610527982.22026-04-20CN122393192A2026-07-14石岱、曹红波、薛俊辉、韩永富、刘鹏
21高通量传输平台及晶圆传输方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610528006.92026-04-20CN122396262A2026-07-14么曼实、罗功林、李海卫、王春雷、李梦涛
22传输平台及晶圆传输方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610528029.X2026-04-20CN122396263A2026-07-14么曼实、罗功林、李海卫、王春雷、李梦涛
23晶圆传输装置及晶圆洁净方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610517731.62026-04-17CN122161366A2026-06-05李海卫、么曼实、罗功林
24微波退火设备及半导体工件承载装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610499493.02026-04-15CN122161351A2026-06-05龙小宝、刘春峰、韩永富、刘鹏、王子昂
25门阀装置及快速热处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610500234.52026-04-15CN122359546A2026-07-10曹红波、石岱、卢芳芳、薛俊辉、王英杰
26半导体工艺设备及其盖板发明专利实质审查的生效、公布CN202610484821.X2026-04-13CN122370264A2026-07-10王春雷、卫福强、孙卓、刘韬、熊华涛、周雨诺、姜伟鹏
27用于等离子体源的上进气盖板及等离子体处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610457786.22026-04-08CN122337975A2026-07-03丁伟、管长乐、范强
28半导体工件冷却装置、半导体工件处理装置及其方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610249634.32026-03-02CN122121593A2026-05-29张玉松、李欣雨、李梦涛、罗功林
29快速热处理腔室及灯板装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610105975.32026-01-26CN121925069A2026-04-24石岱、张垒、刘春峰、庞云玲、郭梦尧
30热光学双功能涂层、半导体工件处理装置和温度控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610105964.52026-01-26CN121931495A2026-04-28薛俊辉、石岱、周星、桂远远、李福洪
31等离子体处理装置及晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610090786.32026-01-22CN121885501A2026-04-17王春雷、范强、赵忠生、刘嘉熙、么曼实、张新云
32晶圆热处理的温度控制方法、毫秒级退火处理系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610090782.52026-01-22CN121888901A2026-04-17石岱、金鑫明、刘春峰、曹红波、薛俊辉
33等离子体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511720150.42025-11-21CN121463315A2026-02-03王春雷、管长乐、么曼实、刘学良、李海卫、赵俊召
34用于处理工件的方法、等离子体设备及半导体工件发明专利实质审查的生效、公布CN202511676884.72025-11-14CN121472815A2026-02-06王春雷、刘嘉熙、管长乐、范强、么曼实、刘学良、赵俊召
35开合装置及开合系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510897667.42025-06-30CN120727621A2025-09-30曹红波、刘鹏、马涛、卢芳芳
36半导体工件处理设备和减少处理设备内颗粒物的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510848950.82025-06-23CN120690656A2025-09-23薛俊辉、高福宝、管长乐、蒋晓纬、熊华涛
37工件处理用装载锁定室发明专利公布CN202510731864.92025-06-03CN121096913A2025-12-09哈里·安巴、K·巴雷特、A·维尔
38拆卸工装发明专利实质审查的生效、公布CN202510542786.82025-04-27CN120134259A2025-06-13蒙小刚
39半导体工件的传输设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510390488.12025-03-31CN120221480A2025-06-27李海卫、么曼实、薛俊辉、刘飞、吕建建
40用于拆卸ESC组件的工装发明专利实质审查的生效、公布CN202510388074.52025-03-28CN120002571A2025-05-16卢振新、管长乐、张新云、陈保存、陈帅
41喷涂工装发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510344775.92025-03-21CN120094774A2025-06-06石岱、薛俊辉、陈允慧、么曼实、兰梦
42等离子体处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202580012516.42025-03-17CN122663686A2026-08-28郑建平、S·科杜穆里、詹祥谭、S·V·R·科米塞蒂、M·V·阿贝马、L·戈法特、沈达睿
43组装工装及组装工装系统发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510307484.22025-03-14CN119952649B2025-09-30韩愈、刘春峰
44微波退火设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510258335.12025-03-05CN120221452A2025-06-27龙小宝、刘春峰、韩永富、刘鹏
45等离子体设备发明专利授权CN202510217948.02025-02-26CN120048715B2025-11-25管长乐、范强
46热处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510189987.42025-02-20CN119980478A2025-05-13闻龙、曹红波
47热处理装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510135484.92025-02-06CN119967641A2025-05-09么曼实、李海卫、薛俊辉、罗功林、兰梦
48热处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510121769.72025-01-24CN119943721A2025-05-06么曼实、孙卓、罗功林、王春雷、刘春峰
49顶针机构、顶升装置及工艺腔室发明专利实质审查的生效、公布CN202510105313.12025-01-22CN119905452A2025-04-29管长乐、卢振新、张新云、范强、王春雷
50提升工装发明专利实质审查的生效、公布CN202510065689.42025-01-15CN119637761A2025-03-18张光磊、刘亮

天眼查数据显示,屹唐半导体科技(北京)有限责任公司成立日期2024年11月7日,法定代表人王斌,所属行业为专用设备制造业,企业规模为小型,注册资本50000万人民币,实缴资本100万人民币,注册地址为北京市北京经济技术开发区融兴北二街5号院7号楼8层801-2。屹唐半导体科技(北京)有限责任公司共对外投资了0家企业,参与招投标项目0次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息29条,拥有行政许可1个。

屹唐半导体科技(北京)有限责任公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1开关盖装置及半导体设备发明专利公布CN202611097193.62026-07-22CN122751904A2026-09-15刘飞、李海卫、么曼实
2用于毫秒退火系统弧光灯的电极冷却结构及散热传导机构发明专利实质审查的生效、公布CN202611050583.82026-07-15CN122677369A2026-09-01石岱、曹红波、蒙小刚、薛俊辉、张垒
3半导体设备及其组装方法发明专利公布CN202610967280.62026-06-30CN122783944A2026-09-18么曼实、王春雷、李梦涛、李欣雨、郭梦尧
4半导体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610945292.92026-06-26CN122648910A2026-08-28么曼实、李海卫、王春雷、罗功林、李欣雨
5对中机构及对中工装发明专利公布CN202610931737.82026-06-25CN122800525A2026-09-22石岱、曹红波、薛俊辉、韩永富、刘鹏
6等离子体源腔室发明专利实质审查的生效、公布CN202610710787.32026-05-22CN122513913A2026-08-04刘建生、陈保存、范强、张龙晓、卢振新、郭号、管长乐、黄印强
7等离子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610693347.12026-05-19CN122373231A2026-07-10王春雷、管长乐、么曼实、刘学良、赵俊召、刘嘉熙、刘连俊、李运华
8薄膜沉积装置及薄膜沉积方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610636695.52026-05-09CN122303852A2026-06-30龙小宝、刘春峰、韩永富、刘鹏、王子昂
9半导体处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610628464.X2026-05-08CN122535211A2026-08-07韩愈、刘春峰、张垒、许雯博
10等离子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610620563.32026-05-07CN122248625A2026-06-19王春雷、范强、肖莉莉、么曼实、段晓斌、刘建生、吕建建、李旭
11气体浓度测量装置、方法及快速热处理设备发明专利公布CN202610611860.12026-05-06CN122487294A2026-07-31曹红波、韩愈、刘春峰、石岱、赵聪
12半导体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610612736.72026-05-06CN122494532A2026-07-31周博伦、赵俊召、陈显望、范强、管长乐、宋永明、陈帅
13等离子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610604356.92026-04-30CN122248624A2026-06-19王春雷、管长乐、赵俊召、宋永明、罗功林、赵忠生、后健华、于小翠
14半导体设备晶圆转速信号的融合方法及装置发明专利公布CN202610606506.X2026-04-30CN122451795A2026-07-24甄玉旺
15匀流装置及半导体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610589030.32026-04-29CN122421702A2026-07-17周博伦、管长乐、后健华、宋永明、陈帅、卢振新
16等离子体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610578497.82026-04-28CN122373230A2026-07-10王春雷、范强、刘学良、么曼实、刘连俊、刘薇
17等离子体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610560646.82026-04-24CN122370265A2026-07-10王春雷、管长乐、范强、刘学良、赵俊召、么曼实、兰梦、刘薇
18工艺腔室发明专利实质审查的生效、公布CN202610554160.32026-04-24CN122393187A2026-07-14么曼实、王春雷、李海卫、罗功林、李梦涛
19液冷装置及等离子体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610550214.92026-04-23CN122417751A2026-07-17丁伟、管长乐、范强
20弧光灯及退火设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610527982.22026-04-20CN122393192A2026-07-14石岱、曹红波、薛俊辉、韩永富、刘鹏
展开阅读全文

更新时间:2026-09-29

标签:科技   弧光灯   电极   精准   半导体   专利   机构   唐科   实质   长乐   等离子体   设备   装置   方法   工装   工件   半导体设备

1 2 3 4 5

上滑加载更多 ↓
推荐阅读:
友情链接:
更多:

本站资料均由网友自行发布提供,仅用于学习交流。如有版权问题,请与我联系,QQ:4156828  

© CopyRight All Rights Reserved.
Powered By 61893.com 闽ICP备11008920号
闽公网安备35020302034844号

Top