中科飞测取得TDI相机检测相关专利，基于TDI相机检测，降低误检漏检率

来源：新浪证券-红岸工作室

7月1日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种基于TDI线阵相机的检测方法及装置”的专利，授权公告号CN113533343B，授权公告日为2026年6月30日。申请公布号为CN113533343A，申请号为CN202110733377.8，申请公布日期为2026年6月30日，申请日期为2021年6月30日，发明人陈鲁、王天民、张嵩，分类号G01N21/88、G01N21/01。

专利摘要显示，本发明提供一种基于TDI线阵相机的检测方法，包括：使用第一积分级数控制TDI线阵相机拍摄第一图像；使用第二积分级数控制TDI线阵相机拍摄第二图像，所述第二积分级数大于所述第一积分级数；获取所述第一图像中的高反射率区域，对所述第一图像中的高反射率区域进行特征检测；获取所述第二图像中的低反射率区域，对所述第二图像中的低反射率区域进行特征检测。本发明还相应提供了一种基于TDI线阵相机的缺陷检测装置。该缺陷检测方法及装置具有较低的误检率和漏检率。

中科飞测成立于2014年12月31日，于2023年5月19日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均位于广东省深圳市。它是国内领先的集成电路检测设备供应商，专注于检测和量测设备，具备全产业链技术优势。

中科飞测主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，涉及半导体检测、半导体设备、中芯国际概念等概念板块。

2025年，中科飞测实现营业收入20.53亿元，在25家同行中排名第11，远低于行业第一名北方华创的393.53亿元和第二名中微公司的123.85亿元，高于行业中位数14.26亿元，但低于行业平均数41.44亿元。其主营业务中，检测设备收入13.64亿元，占比66.43%；量测设备收入6.23亿元，占比30.36%；其他（补充）和软件分别占比2.60%和0.61%。净利润方面，2025年为5865.26万元，行业排名19/25，与第一名北方华创的54.09亿元、第二名中微公司的20.64亿元差距明显，低于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元。

深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下：