中国造不出光刻机？中科大副院长：美国造不出，中国永远都不可能

中科大前副院长朱士尧的这段话最早出现在2021年2月的一次媒体采访中，当时他直言顶尖光刻设备需要全球多国技术拼凑，单靠美国不行，中国也办不到。

这话在当时就引起波澜，因为中美科技摩擦正热，美国从2019年起就推动荷兰限制对华出口先进设备。

朱士尧作为物理学专家，基于多年经验指出，光刻机不是简单组装，而是精密到纳米级的系统工程。

采访视频在网上流传，科技论坛上很多人觉得这话太绝对，但也有人认可这是对现实的直白描述。2024年9月，这段旧访谈被重新剪辑发布，又一次刷屏，播放量上百万。

朱士尧的言论背景是半导体产业链的复杂性，他强调阿斯麦公司主导的极紫外机型，核心部件散布在多国企业手里。荷兰阿斯麦成立于1984年，但它更像供应链协调者，而不是全能制造商。

2013年，阿斯麦花25亿美元收购美国赛默公司，就是为了锁定光源技术。可赛默的锡滴生成系统，还得靠德国企业优化。

朱士尧说这话时，正值2021年美国加强出口管制，中国企业采购设备受阻。访谈中他没细聊中国进展，但点出美国硅谷企业也依赖进口光学部件，无法闭环生产。

网上讨论中，有人误读成否定一切努力，其实他针对的是高端机型的独立制造。

光刻机的难点在于突破物理极限，比如极紫外光源得用激光轰击直径30微米的锡滴，每秒处理5万次，产生13.5纳米波长光线。这套系统精度高到头发丝万分之一，稍有偏差就废。

德国蔡司负责反射镜，从1990年代起和阿斯麦合作，2012年才出首套量产组。阿斯麦2016年投资10亿欧元买蔡司股份，就是防断供。

朱士尧的观点基于此，美国有激光技术，但光学和精密机械得从欧洲拿，没法单干。中国起步晚，早期全靠进口，但从2010年代末开始转向自研中低端设备，避免直接硬碰高端壁垒。

中国选择从深紫外光刻机切入，上海微电子公司是主力，已实现90纳米机型的批量生产。2024年，这家公司推进28纳米浸没式设备测试，中芯国际参与优化参数，确保良率稳定。

朱士尧的话被翻出时，正好赶上这些进展曝光，有人拿来对比，说不是永远不可能，只是时间问题。

阿斯麦的客户投资计划从2012年起，拉来英特尔、三星和台湾地区企业台积电出资50亿欧元，换优先供货。这笔钱帮阿斯麦绑紧供应商，形成闭环。

中国企业没法直接加入，但通过本土研发，逐步蚕食市场份额。访谈争议中，专家们补充，美国早期也试过独立项目，但转向国际合作。

高端光刻胶是另一个卡点，日本企业如信越化学垄断供应，美国企业也得进口。中国从2020年起加大投入，2025年实现28纳米级光刻胶量产，虽然距离极紫外还有差距，但已能支撑汽车芯片生产。

朱士尧强调的全球协作，在现实中体现为供应链脆弱性，2023年美国管制扩展到深紫外机型，荷兰跟进限制。

中国反击是建本土链条，哈尔滨工业大学团队2025年攻克极紫外光源原型，使用激光等离子方法输出功率。阿斯麦一台机重180吨，含10万零件，中国从部件起步，避免大跃进式失误。这路子慢，但稳扎稳打。

德国通快公司独供高能激光器，一台价值几千万欧元，只给阿斯麦。朱士尧的话提醒大家，别忽略这些垄断环节，美国想复制也得拉盟友。

中国福晶科技在激光晶体上占全球六成份额，已成阿斯麦供应商，这点让本土企业有立足之地。2025年底，上海微电子中标政府项目，推出新机型填补空白。

访谈被热议后，政策层面加大资金倾斜，工信部2024年目录列出国产设备，鼓励企业验证。阿斯麦的联盟模式让美国企业受益，但也暴露依赖性，中国借此机会追赶中端市场。

光刻机不是速成品，朱士尧的表达基于物理规律，他说美国造不出，是指脱离协作体系。2026年初，相关讨论还在继续，中国企业报告显示，28纳米机已批量出货，良率超九成。

台湾地区企业台积电依赖阿斯麦，但中国大陆从中低端积累经验，避免直接对抗。哈尔滨团队的光源突破，用固态激光击打锡滴，加高压电生成等离子，功率达百瓦级。

这步子虽小，但连成链条就能挑战垄断。朱士尧退休后仍参与咨询，他的观点推动行业反思路径选择。

中国在光学系统上也有动作，2025年专利显示，新材料用于反射镜，提高反射率到七成。阿斯麦从2010年原型到2019年商用，花了17年，中国从2019年加速，预计2028年见高端原型。

朱士尧的话像一面镜子，照出差距，也照出潜力。美国智库评估，中国落后几代，但追赶速度快。

精密工件台是中国弱项，但通过德国技术引进，已在90纳米级实现定位精度。访谈争议平息后，焦点转到实际交付，企业们在洁净室里调试设备，积累数据。

全球半导体格局在变，2025年荷兰进一步限售，中国转向自给。朱士尧的言论被视为清醒剂，提醒别情绪化，而是尊重规律。福晶科技的晶体供应，让中国在材料端有话语权。

上海微电子扩产获批，产能翻倍。阿斯麦依赖多国专利，中国申请量激增，覆盖光源和胶材。访谈后，青年工程师增多，专业报名上升。这场讨论，最终导向自强路径。

光刻机研发像长跑，朱士尧指出起点差距大，美国也非全能。中国从中端切入，2024年测试28纳米机，2025年交付多台。哈尔滨光源中心波长精准，满足基本需求。

阿斯麦的铁三角联盟，美德荷分工明确，中国探索新组合，如本土激光和光学整合。访谈被国际媒体报道，称反映心态转变。企业没停步，持续优化良率。

朱士尧的话针对极紫外机型，强调单国难成。中国供应链在完善，2026年有新专利曝光，涉及多层膜镜子。

阿斯麦研发耗资巨大，中国投入数百亿，见效渐显。访谈推动资金倾斜，成果陆续出炉。全球协作是现实，但中国正打破部分垄断。

中国光刻进展在加速，2025年突破多项部件，朱士尧的观点被视为历史注脚。企业验证设备，市场占有率升。阿斯麦垄断源于积累，中国从基础追起。访谈后，行业更注重协作，避免孤立。

高端设备需时间，中国已走上轨道，朱士尧的话激发动力。2026年，更多测试新闻曝光，差距缩小。