半导体行业这几年就跟坐过山车似的,尤其是中国企业想搞先进芯片,总被卡脖子。这波EUV光刻机的限制不是头一回了,早从2019年就开始了。那时候,美国就开始对荷兰施压,不让ASML卖EUV设备给中国客户。
ASML是荷兰公司,全球独一家能做EUV光刻机的,机器一台顶得上好几亿美金,用来刻7纳米以下的芯片,高端得不行。
中芯国际作为中国最大的芯片代工厂,2018年就想从ASML那儿买一台EUV,花了大概1.2亿美元下订单,本来是为了升级生产线,追上台积电和三星的步伐。
可惜,美国商务部直接插手,荷兰政府拖着不发出口许可证,结果这机器到现在都没到货。中芯那边等啊等,等得花儿都谢了,生产线升级计划也泡汤,只能靠老的DUV技术凑合着干。
转眼到2023年,美国又升级了管制。10月份,美国商务部出新规,不光EUV,连部分DUV光刻机出口中国也得严格审查。DUV是EUV的前辈,能做10纳米左右的芯片,但要搞更精细的,得用多重曝光,效率低成本高。
中芯本来靠DUV勉强做5纳米工艺,可产量上不去,市场份额被台积电抢走大半。ASML那边也难受,中国市场占他们销售额的近一半,2023年财报显示,中国订单占了49%。
公司CEO彼得·温宁克那时候就抱怨,说这些限制越来越像经济竞争,而不是单纯的安全考虑。荷兰政府在2023年6月30日也跟进,9月1日起对特定光刻设备出口中国要许可证,2024年1月1日起禁某些浸没式DUV型号。
这直接导致ASML好几笔订单被卡,2024年上半年,他们取消了部分DUV发货,影响了中芯等客户的扩产计划。
事情闹到2024年12月2日,ASML终于公布了美国最新管制的“结果”。美国商务部那天更新了出口规则,针对先进芯片技术加了更多限制,包括计量工具和软件,还把更多中国设施列入黑名单。
ASML的CEO克里斯托夫·富凯在声明里说,新规对他们2025年的展望没啥大影响,销售额预计还在300亿到350亿欧元之间,中国业务占比会降到20%。
但细看,这里面藏着猫腻。新规立即生效,但部分条款推迟到12月31日执行。这就给了个时间窗口,ASML可以赶在年底前处理积压订单,不受新限制干扰。
EUV出口中国本来就禁了,这次又被明确纳入“先进设备”范畴,等于再次敲定不让卖。相比之下,DUV没被完全封死,ASML表示2024年财务不受影响,意思是他们还能卖点DUV给中国客户。
中芯那笔1.2亿美元的EUV订单呢?从头到尾都没交付过,因为荷兰政府压根没批许可证。ASML在2021年还跟中芯续了个DUV的批量采购协议,总额也1.2亿美元,但那是DUV,不是EUV。EUV订单其实是2018年的单独一笔,钱付了定金,但机器没到手。
中芯这些年没闲着,靠DUV多重曝光搞出了N+1和N+2工艺,2023年帮华为做了麒麟9000S芯片,7纳米级别的,虽然良率不高,但总算有进展。2024年,中芯财报显示,他们5纳米工艺开始小规模生产,但还是受EUV缺口拖累,成本高得离谱。
ASML那边对管制早就不满了,富凯在2024年9月就公开说,美国的动机越来越经济化,不是单纯防技术扩散。2024年10月,ASML三季度财报里,中国订单还占大头,但预测2025年下滑。
中芯的EUV订单,可能性是拿不回来了,但退款倒是有戏。既然机器没发,合同里应该有退款条款。ASML在2024年12月的窗口期,本来可以试着发货,但EUV太敏感,荷兰政府不会松口。结果,中芯可能通过协商收回那1.2亿美元,转投国产设备研发。
整个行业看,这波限制让中国半导体加速自给自足。倪光南院士早说过,核心技术买不来,得自己干。联想柳传志以前觉得买租划算,但现在看,卡脖子时候就知道疼了。中国企业这些年投了上万亿搞芯片,从设计到制造,华为海思、中芯、长江存储,一步步追上来。
说到底,这不是技术问题,是大国博弈。美国想保芯片霸权,中国想产业链独立。ASML夹中间,两头难做,2025年财报显示,订单虽下滑,但高NA EUV新机卖得火,一台380万美元,客户排队。
富凯在2024年底采访里说,中国禁EUV会让中国落后10-15年,但谁知道呢?中国工程师多,资金足,2025年8月就有视频说中国自研EUV上线测试,震动行业。
中芯股价2025年波动大,但整体涨,因为本土订单多。后续估计美国还会加码,但中国稀土牌一打,全球供应链都抖三抖。ASML得多元化市场,少靠中国。
更新时间:2025-10-19
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