文丨编辑 木木木

«——【·前言·】——»

这几年ASML日子越来越不好过了，2023年初，美国一轮接一轮推出口管制，荷兰政府跟着收紧对华销售政策，ASML前老板彼得·温宁克在财报会上就直说，这种管制反而会逼着中国自己搞出东西来。

ASML在中国赚快钱却心里发慌

现在的ASML账面数据看着很风光，但公司高层一点都高兴不起来，中国市场的营收占比快速上升，数字非常显眼，可这并不代表生意进入了健康增长阶段。

无论是刚卸任的温宁克，还是新上任的富凯都很清楚，这种增长本质上是不正常的，过去几年里中国市场在ASML全球收入中的比重，从原本只有一成多，一路被推高到接近一半。

2023年多个季度，占比连续冲到40%以上，最高时接近49%，但业内都明白这不是需求自然扩大，而是客户在政策彻底收紧前集中采购，逻辑很简单，只要还能买就尽量多买，把设备先锁进仓库再说。

限制并不是突然出现的，2019年开始，荷兰和美国就在不断加码，到2023年NXT：2000i以上的机型被要求单独申请许可。

去年情况进一步恶化，连已经批下来的许可都被撤回，2050i和2100i这些原本大量交付的型号被直接禁止出口。

在这种情况下，中国客户只能转向还没被点名的老型号，比如1970i和1980i，集中下单，先把数量拿到手，这就造成了ASML当前的“账面繁荣”。

富凯在公司内部早就判断，这种增长是提前透支未来需求，一旦库存补齐，再叠加出口限制继续收紧，中国区收入很可能在2025年前后迅速回落到20%左右。

真正让ASML焦虑的还不只是设备销售本身，中国境内已经安装了大量高端光刻机，后续的维护、备件和软件升级，才是长期稳定收入的来源。

但在美国管控不断外延的情况下，这部分业务也面临随时被掐断的风险，ASML必须想办法保住在北京的维修和支持体系，因为一旦服务中断，这些昂贵设备就会失去价值，关系将不再是买卖纠纷，而是彻底破裂。

温宁克在任时反复提醒过，把一个大客户逼到没有退路，结果往往不是服从，而是加速对方摆脱依赖，最终培养出不再需要你的竞争者。

中国绕开EUV另起一条新路

谁都以为西方会纠结中国复制 EUV 的时间，没料到真正让他们吃惊的是，中国根本没打算照着 ASML 的路子走。

当外界还在判断中国是否能把极高功率的光源压缩进一台精密设备时，中国工程团队已经换了思路，ASML的技术路线，核心在于把几十千瓦能量稳定压缩进一台体积受限的设备，再配合极高精度的光学系统运行。

这条路难度极高，小型化是最大障碍，清华大学主导的SSMB方案，选择直接绕开这个难点，他们不再追求把所有系统塞进晶圆厂，而是干脆把光源从设备中拆出来，集中建设。

这一方案的核心很清楚，不追求单机集成，而是建设一个专门产生极紫外光的集中设施。

规划中，这个设施类似大型科研装置，通过环形加速结构持续产生稳定光源，输出功率可达到千瓦级水平，明显高于现有EUV设备的输出能力。

光源生成后，再通过多条光束线路，分别输送给下游多个光刻终端使用，这一设想并不是临时起意，早在2017年相关原理就已经提出。

清华团队随后与欧洲研究机构展开合作，围绕电子束稳定控制和微聚束技术持续推进，2021年关键实验结果发表于国际顶级期刊，验证了该路线在物理层面的可行性。

到2023年，项目已经进入工程化前期阶段，开始围绕选址、系统规模和长期运行进行论证，这种模式的本质，是把高难度的精密集成问题，转化为中国更熟悉的大型工程问题。

核心难点从单机制造，变成系统协同和基础设施建设，原有围绕单台EUV设备建立的技术和专利体系，在这种架构下不再构成直接限制。

当然这条路线无法立刻解决现实中的产线需求，集中式光源系统建设周期长，属于中长期方案，短期内先进制程仍需依靠现有设备体系支撑。

卡先进制程并没卡死中国芯片

不少西方政客有一个判断误区，认为只要把2纳米、3纳米这些最先进制程卡住，中国芯片产业就会整体停摆，但真正了解产业结构的人都清楚，中国制造业的重心并不在这些极限节点上。

汽车电子、光伏设备、风电系统、智能电网等核心领域，真正大量消耗的是28纳米、45纳米、65纳米这一类成熟工艺芯片，而不是顶级制程。

这也是为什么上海微电子长期集中资源攻28纳米量产，战略意义远超外界想象。

先进工艺被封锁的情况下，中国选择的不是硬撞高墙，而是把成熟制程做到可控、稳定、规模化，先托住整个工业体系的底盘，这不是单点突破，而是一场覆盖设备、材料、工艺和配套环节的系统补课。

国家层面的资金持续向基础环节集中，整机设备之外，光刻胶、抛光材料、特种气体等长期被忽视的关键耗材开始加速国产化。

恒坤、南大光电等企业不断扩充产线，提升性能指标，高校和科研机构同步推进材料路线创新，新型聚合物体系已经在灵敏度和稳定性上逼近国际主流水平。

在光源和替代路径上，也出现了多线并行推进的局面，有团队探索等离子体方案，有团队尝试固体激光路线，核心目标都是提升能量转换效率并降低系统复杂度。

即便在相对小众的电子束直写领域，国内也已实现纳米级精度的科研应用，同时纳米压印等非传统工艺也在产业化验证中稳步推进，这种策略的核心并不复杂。

既然最先进的暂时不可得，就把可用的工艺节点全部补齐，用数量、稳定性和成本覆盖差距，哪怕在部分指标上仍有不足，只要关键领域不断供，整体制造体系就不会失速。

局势发展到现在已经不只是商业竞争，而是两种产业逻辑的对抗，一方寄希望于封锁延缓对手发展。

另一方则试图用工程化、规模化的能力，把原本高度依赖尖端实验室的技术，转化为可复制、可扩展的工业体系，一旦成熟制程被彻底打通，产业规则本身就会随之发生变化。

参考资料

阿斯麦CEO：遏制中国可能产生意想不到的后果——环球时报