全省首台12寸高纯碳化硅单晶生长炉顺利交付

5月18日，河北晶驰机电有限公司举行河北省首台（套）12寸电阻法高纯碳化硅晶体生长炉交付仪式，该系列产品是晶驰机电入驻正定后自主完成研发生产的高端装备，将服务于国际知名半导体行业领军企业，也标志着我县正式融入京津冀半导体产业协同体系。

上午10时，晶驰机电携研发团队与采购方代表共同启动交付程序。这两台12寸碳化硅单晶生长炉采用先进AI算法和PVT工艺相结合，制备的高纯碳化硅单晶材料将用于AR眼镜光波导中。作为河北省首台（套）碳化硅晶体生长设备，其本地化生产验证了我县高端装备制造能力，进一步加速新质生产力孵化培育，带动我县半导体材料、精密加工等上下游产业链集聚，为京津冀协同发展提供新的实践样本。

晶驰机电销售总经理 赵耀

回到家乡投资兴业既是一种责任也是一种荣耀，本次交付仪式不仅标志着晶驰机电发展迈入了新的里程碑，更体现了我们对推动半导体设备国产化、服务国家战略需求的坚定信心与决心。

晶驰机电自入驻正定以来，通过自主研发碳化硅单晶生长炉，不断迭代8至12英寸长晶工艺，将先进AI算法运用于PVT长晶过程中，创新地设计晶体生长温场与开发新的气相原料分布工艺，不断突破12英寸碳化硅晶体生长过程中温场不均、晶体开裂等核心问题，实现了技术跨越。

采购方代表 张洋

碳化硅材料具备高折射率、高热导性，基底材料的折射率越高，AR镜片的视野就更大，碳化硅镜片即可实现80度以上视野，可以提供更轻薄的尺寸和更大更清晰的视觉效果。此次交付的12寸碳化硅单晶生长炉生产出的碳化硅单晶是AR眼镜镜片的理想基底材料。

据了解，河北晶驰机电生产项目于2024年11月启动并正式运行，公司专注于碳化硅、金刚石、氮化铝、氧化镓等第三、四代半导体材料装备的研发、生产、销售和应用推广，致力于解决我国半导体设备技术“卡脖子”问题，提升国内先进材料制造能力，实现进口替代。