最近外媒都在讨论,中国在芯片领域搞出了个“封锁副作用”。这事得从复旦大学的研究团队说起,他们用二硫化钼这种二维材料,在28纳米的老产线上,做出了性能接近3纳米的芯片。这可不是只停留在PPT上的概念技术,相关成果已经发表在了Nature主刊上,一发表就是两篇。
最关键的是,这条技术路线完全用不上那台被卡得死死的EUV光刻机。西方原本觉得,断了EUV的供应,中国就只能困在7纳米制程里,结果我们直接换了条赛道,靠材料创新把芯片密度硬生生翻了倍。这背后到底藏着怎样的技术逻辑?

我们先从传统芯片的困境说起,传统芯片要拼命缩小晶体管,从14纳米挤到3纳米,靠的是把光刻波长从193纳米压到13.5纳米的EUV技术。
2022年台积电冲刺3纳米制程时,单台EUV光刻机就得花1.5亿美元,加上配套设施,还得再砸几十亿进去。而中国这边,连一台完整的EUV都没拿到过,库存里那几台老DUV光刻机反倒成了宝贝疙瘩。

复旦团队在2022年12月抛出的方案,直接换了材料思路。他们把单原子层厚度的二硫化钼叠到硅基底上,这种材料的厚度天然就是0.7纳米,像横向刻蚀这种最吃光刻精度的工序,直接就绕过去了。
根据测试数据,芯片的开关比达到了10的6次方,子阈值摆幅也接近理想值,密度比同节点的Fin FET结构翻了一倍。更关键的是,整个流程都是在28纳米以上的产线上完成的,一台EUV都没沾边。

国际半导体路线图原本把CFET结构,排到1.4纳米节点才考虑,复旦团队硬是把这个门槛,拉到了7纳米到5纳米的现成产线上,让现有设备就能玩转。2023到2024这两年,他们把晶圆尺寸从4英寸推进到8英寸,还和国内几家大厂跑通了兼容性测试。这可不是实验室里的样品,是真能上产线量产的技术。
举个实际例子,2025年4月推出的“无极”芯片,集成了5900个晶体管,良率直接冲到了99.77%。而之前二维芯片的良率一直徘徊在10%左右,集成度的纪录也才115个晶体管。复旦团队直接把集成度翻了51倍,还成功跑起了32位RISC-V指令集,这就证明二维材料不光能做单个晶体管,还能搭建完整的系统。

到了10月,“长缨”闪存芯片的表现更亮眼。它的编程擦除速度达到20纳秒,比传统NAND闪存快100万倍,能量消耗仅为0.644皮焦每比特。这款芯片采用二维闪存和硅基控制器的混合架构,避开了直接堆叠带来的界面问题,在5MHz主频下能跑百万次循环,耐久性完全过关。
这两颗芯片全都是用成熟的DUV产线流片的。之前华为Mate60Pro搭载的7纳米芯片已经证明,DUV多重曝光技术虽然成本高些,但确实能用。现在叠加上异质CFET结构,相当于在7纳米产线上硬刚台积电3纳米的密度。

产业化进度也在稳步推进。复旦和绍芯实验室组建了联合体,不少企业正在洽谈中试线的合作,产能计划从Kb级别向Mb级别突破。按照规划,预计2026年就能实现中试投产,届时传感器的功耗能降低上千倍。
像物联网、脑机接口这些低功耗场景,电池续航能力会直接迎来飞跃。而且二维材料柔韧性强,弯曲也不会损坏,百亿规模的柔性电子市场正等着它打开大门。

外媒现在开始喊“封锁的副作用来了”。他们本想通过卡EUV的脖子,把中国锁在7纳米制程里,结果我们直接换了赛道,材料一换,密度、功耗、成本全方面实现碾压。西方还在沿着摩尔定律的老路狂奔,中国却直接跳到后摩尔时代玩材料叠层,虽然起点低,但后劲明显更足。
2023年的时候,西方对芯片产业链的管制进一步升级,光刻胶、靶材、EDA软件全线被卡。那时候外媒还写得很欢,说中国先进制程会彻底锁死在7纳米,要往下突破一步得烧十几倍的钱。他们甚至连已经装好的DUV光刻机的维修零件都限制供应,摆明了要把路堵死。

但结果呢?封锁把光刻波长这条最烧钱的路堵死了,反而逼着中国把资金集中投向材料和架构创新。二维材料本身就不挑光刻机,未来哪怕光刻机的技术停留在193纳米浸没式,靠材料叠层技术也能继续提升芯片密度。这样的性价比,确实让人眼前一亮。
2019年的时候,谁能想到2025年中国能用28纳米产线做出接近3纳米性能的芯片?现在EUV虽然还被卡着,但已经不是决定生死的关键了。真正的突破口在材料和架构,中国把这两样玩明白了,接下来就看谁能先把量产良率拉到90%以上。

国际竞争格局也在跟着变化,美国DARPA砸了22亿美元搞原子级制造,欧盟也在加码石墨烯项目,但中国已经直接拿出了实际成果。
二维材料这条技术路径,最大的价值在于绕开了光刻机垄断。ASML的EUV几乎垄断了全球高端光刻机市场,中国拿不到机器,就必须另辟蹊径。而化学气相沉积生长原子级薄膜、机器学习优化界面这些技术,国内都能自主掌握,不用看别人脸色。

更关键的是它的应用前景,在军事领域,基于二硫化钼的FPGA芯片抗辐射能力强,高能粒子更倾向于穿透薄膜,而不是在芯片内部产生破坏。像太空探索、卫星指挥系统这些需要在极端环境下保持可靠运行的场景,特别需要这类芯片。美国DARPA在这个领域有布局,中国这边也在严谨地推进相关研究。
在民用市场,智能传感器是个百亿级规模的赛道。边缘计算设备的功耗能降到微瓦级,穿戴设备的续航时间能翻倍。5G基站用上二维射频系统,能实现低损耗、低噪声的效果。脑机接口则需要柔性芯片,二维材料弯曲不坏、接触阻抗低的特点,正好能满足需求。

对产业链来说,国内晶圆厂只要把后端的低温转移工艺吃透,现有的DUV设备立刻能多“活”十年。5纳米、3纳米甚至2纳米性能的芯片,不用等EUV解禁就能生产。这对整个半导体产业链都是巨大利好,设备厂商、材料供应商都会迎来新的发展机会。
政策支持也在跟上,国家基金向这个领域倾斜,科技部通过领军人才计划支持相关团队。复旦还建立了联合实验室,吸引企业参与中试。这不是盲目砸钱堆项目,而是以工程思维为主导,靠数据验证,一步一个脚印推进,踏实又高效。

现在全球半导体圈都在盯着中国的下一步动作。如果2026年12英寸异质CFET能成功实现量产,那么手机芯片、GPU、AI训练芯片的市场格局就得重新书写。
封锁本想把中国锁在7纳米,结果却把我们逼到了一条成本更低、潜力更大的新赛道上。#发优质内容享分成#
信息来源:
新民网《我国集成电路研究取得突破——复旦大学周鹏、包文中、万景团队合作发明晶圆级硅基二维互补叠层晶体管》
每日经济新闻《“短板”正在被一块块补上!直击湾芯展:“中国芯”是怎么炼成的》
中国科学报《我国突破12英寸二维半导体晶圆批量制备技术》
更新时间:2025-11-20
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