文/王新喜
从2019年到今天,美国盯上先进芯片与制造设备,一直在加码限制荷兰光刻机向中国出售,这本来是日本光刻机顺势崛起、趁机抢市场的大好机会,但是这么多年过去了,日本尼康、佳能光刻机不仅没能顺势抢到市场蛋糕,反而越来越边缘化了,为啥?
从光刻机市场来看,日本的尼康和佳能本来就是生产光刻机的,历史比ASML悠久,技术也强,资金也雄厚。
在ASML之前,日本的尼康、佳能才是老大哥。尼康在1978年完成首台半导体光刻机SR-1,佳能则早在1970年就推出日本第一台商用光刻机PPC-1。不过发展到采用193nm的干式光刻机的时候,发生了分歧,日系厂商认为要继续研发使用波长更短的光源比如165nm,来提高光刻分辨率。
但是165nm波长的光线非常不稳定,研究了几年,大家都没进展。
转折点发生在ASML与台积电合作,制造出全球第一台以水为介质的浸润式光刻机,采用193nm波长,但等效于134nm,马上投入台积电的生产线上,效果非常好。
于是市场慢慢的全被ASML抢走了,后来ASML更造出了EUV光刻机,独家垄断了光源,差距进一步拉大,尼康也不得不选择跟进,后来尼康也能够量产用于生产7nm及以下制程的浸润式光刻机,也就是DUV中的ARFI光刻机。
日本尼康曾经是光刻机领域曾经的世界第一,但后来与ASML的差距已经拉开。不过,在DUV光刻机领域,尼康弱于ASML,但也能基本满足需求,根据尼康过去透露,它所布局的NSR-S635E ArF 浸入式光刻机与ASML的EUV光刻机不同,使用DUV光源就可以加工5~7纳米的芯片,每小时可以制造275片晶圆,并且不使用美国技术。
简言之,虽然EUV光刻机,尼康也造不出来,但尼康的实力是可以争夺中国的DUV光刻机市场,对于尼康公司来说,也是一个翻盘的机会。但是这么多年过去了,以尼康为首的日本光刻机为何根本也没能撼动ASML分毫呢?
原因在于,首先是ASML光刻机的大客户就是那么几家,而且彼此形成了长期合作的供应链信任关系,ASML将众多的光刻机的供应链捆绑在一起的,有很多核心企业更是独家合作的,技术不会外流,别的企业要挖ASML墙角,非常难,尼康、佳能要挖这个墙角,是非常难得。
日本光刻机的机会其实就是在中国市场。在ASML因为美国出口管制的压力下被迫制裁我们的时候,我们其实也想多渠道拓宽光刻机进口来源,但是日本在这种情况下,选择坚决服从配合美国制裁。
比如2023年3月,日本政府就宣布对包括光刻机在内的23种半导体设备实施出口管制,从光刻机到光刻胶层层加码限制对中国半导体设备出口,2024年4月,日本更进一步,把GAAFET(全环绕栅极晶体管)等先进技术也纳入管制范围,直接把大量优质订单拱手让给ASML。
而ASML限制向中国出口光刻机,是迫于美国制裁,是不情愿的,它选择了一种利益优先,规则为辅的思维钻政策的漏洞去灵活绕过美方出口管制。
自2022年起,荷兰官方就多次态度非常强硬,声称“荷兰不会一比一照搬美国(对华出口)的措施”。
在美方2022年底不断升级的芯片出口管制压力下,荷兰确实也出台了新规,但这些规定主要是针对最新一代设备,旧型号及中低端产品依然能自由流通。在2023年,ASML向中国销售了450台光刻机,较2022年的出货量提升了50%,总收入约有29%来自我国。
在2024年,荷兰和美国最新颁布的出口管制法规已经生效,NXT:2000i及以上浸润式设备的出口被限制,但在此前之前,ASML紧急向美申请了4个月的限制豁免期,紧急放行光刻设备,对我方加紧出货。
2024年3月,荷兰首相访华亲自表态会努力减少出口限制造成的影响。2024年9月加紧了出口许可规定,对NXT1980Di之后的DUV设备实行逐案审批,不过老款和中低端机型还是能照卖不误。
此外,荷兰政府在2025年1月专门把大部分ASML对华销售从“双重用途”出口数据里剔除了,这相当于给公司开了绿灯,让几十亿欧元的买卖不用公开接受审查。甚至主动构建中国本地维修网点,给现有设备保驾护航,持续绑定贸易关系。
但是日本似乎就从没想过这个问题,严格遵循美方的制裁要求,日本经济产业省直接发话,像尼康、佳能这种老字号企业,严禁把浸没式光刻机卖给中国客户。不留一丝口子,这导致日本2024年对华半导体出口萎缩20%以上,市场份额损失超过30亿美元。
而荷兰的操作则非常灵活,既维持美方的盟友关系,又给自家企业留足了生存空间,避免了在世界最大芯片消费市场“自断财路”的尴尬。不少业内人士与媒体感叹日本光刻机大大葬送弯道超车的机会,“盲目跟风, 荷兰笑了,日本哭了”。
荷兰在“顶住美方压力”与“稳住业务”间找到平衡,是一种灵活的生意人思维,有钱赚绝不把门关死,尽量努力减少出口管制对自身业务的影响,而日本光刻机原本只是第二梯队,不是美国紧盯的头部出口管制对象,但是日本却比荷兰更加积极的配合美国的出口管制。
荷兰用灵活的实际行动与生意人头脑稳住自己的市场,日本却将产业命脉牢牢绑在美国的战车上,绑在政治外交的站队上,继而导致自身的产业风险不可控,日本光刻机的话语权与市场份额进一步萎缩。
日经新闻反复提到,这种全盘服从,让日本丧失了竞争的可能性。据《日本经济新闻》在2024年11月透露荷兰ASML照样卖中低端设备,把本该属于日本的市场给抢了去。
中国因为受美国的限制禁令,备受卡脖子之苦,国产替代的诉求比以往任何时刻都要更强烈。去年去年曝光的氟化氩光刻机,是ArF光刻机,接下来要突破的是浸润式DUV。
此外,中国在光刻机技术还在推进纳米压印与电子光束多条路线并行研发。在EUV光刻机的光源技术上,哈工大与国仪超精密集团共建的11亿元产线已试运行,虽然与ASML的商用标准尚有差距,但已足够支撑原型机通过关键测试。
中国用时间换空间,用进口缓冲期加速自研,实现关键节点的突围。这种全球多极化的芯片市场分化已成趋势,中国将成为重要一极。
半导体命运旋转不息,技术之外折射出国家间的利益较量。尼康股价在2025年上半年订单少了,业绩也跟着掉链子,错失在中国市场的机会,恐再无翻身之日了。
日本在光刻机市场的惨败给市场上了一课,不要高看了自己,也不要低看了别人,做生意如果没有自己的主见,将外交政治服从凌驾于商业经营之上,只懂的全方位配合美国制裁,没有“利益优先,规则为辅”的灵活化思维,也相当于直接把自己的市场拱手让人,放弃了国际博弈中的筹码,最终葬送的是自己的前途与未来。
作者:王新喜 TMT资深评论人 本文未经许可谢绝转载
更新时间:2025-09-20
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