从2018年,某国一直打芯片牌,其中就包括限制荷兰ASML向我国出口光刻机。一开始还有用,但没几年ASML也顶不住了,因为我国已经造出DUV光刻机,再不卖以后我国用国货取而代之它就玩脱了。然而ASML至今不被允许向我国出口EUV光刻机,因为某国认为我国造不出来,结果现在有消息称国产EUV光刻机已经投入生产!而且消息来源还不止一个!
有网友放出首台投入生产的国产EUV光刻机技术参数:Hyperion-1是XX和XXX合作开发的第一台EUV工程样机,它使用激光产生等离子体极紫外光源(LDP-EUV),光源集成了Yb光纤激光器和Mo/Si多层反射镜(65%反射率),小批量实现5-3纳米节点制程工艺。
尽管其光源功率较低,仅50W(ASML的EUV光刻机光源功率250W),但它集成了诸如以下创新:
1、碳纳米管冷却镜片。
2、用于等离子体控制的RISC-V软件。
3、紧凑设计(是ASML的三分之一大小)。
这款EUV光刻机能够每小时仅能完成约10个晶圆图案曝光(相比之下ASML为150个),专注于研发和JUN用芯片。到2026年,Hyperion-2的光源将提升至150W,从而实现商业化大批量生产。
虽然目前无法证实这条消息的真实性,但此前曝光的一张EUV光刻机安装辅助设备却证实我国已经造出EUV光刻机。
EUV光刻机曾被吹得神乎其神。不可否认它的技术难度确实非常大,以至于此前没有一个国家可以不借助他国技术自己造出来,但只要是人造的东西,我国就有可能造出来!
一旦这种号称工业明珠的设备被我国造出来并投入大批量生产,某国苦心经营几十年的芯片牌就彻底废了。届时我国很可能将芯片价格打下来,那么某国引以为傲的芯片产业会不会快速崩塌呢?如果再加上稀土牌一并出击,某国能不能抗住“暴击”呢?总有一天某国的回旋镖会击中自己,当初有多嚣张,以后就有多狼狈!
#厉害了我的国#
更新时间:2025-07-05
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