A股：中国光刻机十年磨一剑，今朝出鞘锋芒毕露

光刻胶作为半导体制造核心材料，在先进制程升级（如 EUV 光刻胶需求预计 2025 年增长 30%）、国产替代加速（国内企业在 KrF/ArF 树脂等关键原料实现突破）及 5G、AI 等新兴领域需求驱动下前景广阔

1.海立股份：当下市场的龙头，公司虽主营业务为制冷设备，但通过参股等方式涉足半导体相关领域，与光刻机产业链存在一定关联，其业绩增长也为股价提供了支撑。

2.凯美特气：之前的老龙头，从 2025 年整体来看涨幅也较为突出。公司是特种气体供应商，其生产的超高纯气体可应用于半导体光刻工艺，是光刻机制造过程中的关键材料供应商。

3.茂莱光学：公司是光刻机光学系统核心部件供应商，为全球光刻机巨头提供精密光学器件，在光刻机光学领域具有较高技术壁垒。

4.炬光科技：2025 年股价上涨 36.31%。公司是高功率半导体激光元器件等领域的领先企业，其产品可应用于光刻机的光源系统等部分，在光刻机光源技术方面有独特优势。

5.华懋科技：2025 年股价上涨 29.74%。公司通过参股徐州博康切入光刻胶领域，徐州博康是国内主要的产业化生产中高端光刻胶单体的企业，间接与光刻机产业链相关联。

6.张江高科：2025 年股价上涨 27.15%。公司位于上海张江高科技园区，园区内集聚了众多半导体企业，包括与光刻机相关的研发和生产企业，公司通过股权投资等方式受益于光刻机产业发展。

7.冠石科技：2025 年股价上涨 22.32%。公司主要从事半导体显示器件相关业务，在光刻技术应用于显示面板领域有一定技术积累，与光刻机技术在光刻原理等方面存在相通之处。

8.蓝英装备：全球领先的清洗系统和表面处理设备提供商，为 ZEISS 提供精密清洗设备，为 ASML 提供精密清洗解决方案。近 7 个交易日上涨 4.41%，2025 年以来也有较好的涨幅表现，在光刻机清洗设备领域占据重要地位。

9.苏大维格：国内领先的微纳光学制造商，向 SMEE 提供定位光栅部件，光栅尺周期精度小于 1nm，纳米压印技术国内领先。2025 年以来股价有一定幅度上涨，其微纳光学技术与光刻机光刻工艺密切相关。

10.同飞股份：2025 年股价上涨 32.02%。公司主要为工业温控领域提供解决方案，其产品可应用于半导体制造设备，包括光刻机，为光刻机等设备提供温控保障，是光刻机产业链中的配套企业。

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