上海微电子装备取得曝光方法及曝光装置专利

金融界 2025 年 4 月 25 日消息,国家知识产权局信息显示,上海微电子装备(集团)股份有限公司取得一项名为“曝光方法及曝光装置”的专利,授权公告号 CN118092085B,申请日期为 2024 年 3 月。

本文源自金融界

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更新时间:2025-04-29

标签:微电子   国家知识产权局   上海   装置   专利   装备   股份有限公司   金融界   本文   日期   方法   科技

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