明年量产！通快完成新型EUV高能激光器研发

近日，通快集团（TRUMPF）宣布其近期已为ASML下一代EUV光刻系统成功研发出新一代EUV高能激光器，并完成首次测试，计划将于2026年开始量产。

全新EUV激光器拥有超过45万个独立部件，重量超过20吨，标志着半导体制造领域的一个里程碑。该系统由通快集团彻底重新开发，旨在进一步提高芯片工厂的可靠性和可用性。同时，全新激光器能耗更低，从而有助于节约资源并减少二氧化碳排放。

据通快集团（TRUMPF）表示，全新EUV激光器预计将于2026年开始交付ASML。

来自：ofweek

长三角G60激光联盟陈长军转载

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