ASML荷兰有限公司取得用于延长目标材料递送系统寿命的装置和方法专利

金融界2025年5月14日消息,国家知识产权局信息显示,ASML荷兰有限公司取得一项名为“用于延长目标材料递送系统寿命的装置和方法”的专利,授权公告号CN113170566B,申请日期为2019年10月。

本文源自金融界

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更新时间:2025-05-15

标签:科技   荷兰   寿命   装置   目标   专利   材料   方法   系统   有限公司   金融界   国家知识产权局   本文   日期   消息

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