罗博特科智能科技取得适用于硅片传输的吸盘及传输装置专利,对硅片进行有效的无接触吸附

金融界2025年4月26日消息,国家知识产权局信息显示,罗博特科智能科技股份有限公司取得一项名为“适用于硅片传输的吸盘及传输装置”的专利,授权公告号 CN 222785277 U,申请日期为2024年7月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种适用于硅片传输的吸盘,依次包括顶板、中板和底板,所述顶板、中板和底板形成吸附腔,所述顶板上设置有用于支撑硅片边缘(棱边)的垫板,所述顶板对应所述垫板开设有吸附口,所述吸附口贯穿所述顶板的厚度方向并连通所述吸附腔,所述吸附腔具有抽气口,所述抽气口与负压机构连通。本实用新型的吸盘,通过设置用于支撑硅片棱边的垫板,避免吸盘接触硅片的工艺面,同时结合与负压机构连通的吸附腔和抽气口,对硅片进行有效的无接触吸附。

天眼查资料显示,罗博特科智能科技股份有限公司,成立于2011年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本15503.8368万人民币。通过天眼查大数据分析,罗博特科智能科技股份有限公司共对外投资了11家企业,参与招投标项目20次,财产线索方面有商标信息27条,专利信息492条,此外企业还拥有行政许可23个。

本文源自金融界

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更新时间:2025-04-28

标签:硅片   吸盘   气口   顶板   垫板   中板   天眼   底板   科技   科技股份有限公司   装置   专利   智能   企业   罗博

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