
全球半导体产业链里,光刻机一直是核心瓶颈。目前只有荷兰的阿斯麦和日本的尼康、佳能能生产高端设备。
中国企业正加速追赶,试图打破这种垄断。
2025年7月,日本《日经亚洲》杂志发文直指中国可能很快成为第三个独立制造光刻机的国家。
这篇文章基于中国本土研发动态,分析外部封锁如何推动内部创新。报道指出,中国已在深紫外浸没式设备上取得进展,目标直指极紫外领域。如果成功,整个芯片供应格局会大变。

中国光刻研发起步早,但长期依赖进口。上世纪70年代,中国技术水平跟日本差不多,主要靠科研院所积累经验。
80年代,通过国际合作缩小差距,那时重点在基础光学系统。90年代西方开始限制出口,中国转而强调自主路径。
2000年后,上海微电子成立,成为主力,推动从100纳米级深紫外设备入手。2007年,他们推出90纳米原型机,虽然零件问题影响量产,但验证了多重曝光工艺。这段历程显示,中国在产业链基础上的积累逐步加深。

2010年代,中国半导体需求爆发,美国视其为对手。
2018年,中兴和华为被列入实体清单,供应链中断。光刻领域,美国联合荷兰和日本加强禁运,阿斯麦营收一度下滑。中国没停步,转向极紫外研发,设定2030年全本土化目标。
国家集成电路产业投资基金第三期在2024年5月启动,注入3440亿元,支持关键部件攻关。地方政府也给上海微电子超10亿元资金,核心本土率目标50%。这些投入让研发速度超出预期。
2024年,工业和信息化部目录列入两款深紫外机型,标志产品成熟。2025年上半年,中国企业大量采购阿斯麦深紫外设备,库存作为过渡。
荷兰10月31日提前发布新出口规则,限制7纳米以上供应,这进一步刺激本土创新。
上海微电子9月在工博会上展示极紫外参数,光源效率2.3%,体积缩30%。他们用激光诱导放电等离子体方案,成本低、耗电少45%,不同于阿斯麦的激光产生等离子体技术。这显示中国在技术路径上寻求差异化。

日媒报道强调,中国囤货不是被动,而是为研发争时间。2025年上半年,光刻生态投资超千亿元,长江存储设备本土占比超六成。
新凯来10月完成极紫外验证,与上海微电子互补,形成梯队。专家说,这开启90纳米到14纳米阶梯推进。
28纳米浸没式深紫外进入验证,本土率九成。华为东莞基地原型机效率从2%升到4.5%。第三季度试产启动,封装环节本土九成。专利申请量超美日总和,覆盖全链条。

中国产业链完整,从胶层到光学系统,避免单一环节卡住。
这跟苏联教训相关,强调全套自控。日媒分析,中国不是跟风,而是有备胎方案。
日本尼康在中低端市场占大头,但中国成熟制程订单占全球70%,价格低让日企头疼。菱洋电子内部报告抱怨,订单流失严重。
美智库承认,中国极紫外瓶颈接近突破,但全球市场仍由阿斯麦主导。日本扩展禁令到量子部件,2024年中国黑名单扩增。
阿斯麦2024年财报显示,中国市场贡献大,但禁运后营收下滑。2025年荷兰新规实施,中国提前囤货缓解影响。
公司员工扩招50%,工厂扩建稳盘。
尼康订单锐减40%,生产线调整拆旧设备。日媒承认,美国极紫外禁令没挡住中国28纳米发展,反而推其全球份额扩张。中国工厂低价高产,成为首选。
长远,中国不只造机,还可能影响规则。

中国光刻滞后阿斯麦和尼康,但成熟制程领先。
价格低效率高,中国工厂成香饽饽。未来6纳米在望,设备差距缩小。这路靠实打实投入,步步为营。
日媒惊呼没错,只差临门一脚。芯片战场,中国从追赶到并跑。
全球格局,看实力说话。阿斯麦推深紫外计算方案,中国专注自主路径。尼康和佳能原有市场,中国加入降低依赖。
外部压力倒逼中国创新。
2025年7月外媒爆中国极紫外实验过关,预计投产。这让日荷企业警觉。上海微电子作为主力,公开参数亮眼。国家大基金砸钱,协调上下游。
日媒眼中的中国野心,正逐步实现。封锁虽严,但中国后发能力强。全球三家垄断,或将变四家。

中国已在测量、沉积、化学抛光等领域突破。
上海微电子和华为引导供应商用本土设备。日媒提到,光刻入门门槛高,中国赶超需时。但勤劳工程师攻克,似乎时间问题。
中国能造28纳米机,保证多重曝光工艺不受禁令影响。性能堪比英伟达H20,逼美放松管制。现阶段,中国谦虚谨慎,防情报泄密。美最怕中国停进口光刻机。

类似事件多,中国开源大模型破AI神话。歼10C雷达升级,在印巴空战中表现亮眼。
中国后手多,连自己都数不清。段子虽夸张,但工业基础厚,14亿市场支撑试错。取代阿斯麦和日本,或水到渠成。
最近芯片圈热闹,日媒7月16日文说中国囤阿斯麦设备。报道称,中国很可能成第三个光刻机国家。全球就三家,中国追上,格局洗牌。
更新时间:2025-12-01
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