美荷两国同时发声，对中国独立研发的光刻机技术给予了强烈批评

半导体行业这几年闹得沸沸扬扬，尤其是光刻机这块儿，简直成了大国博弈的焦点。中国这边努力搞自主研发，好不容易有点进展，美国和荷兰那边就联手发难，各种管制措施层出不穷，还公开质疑中国技术的合法性。

事情得从2023年说起，那时候荷兰政府先是放风，说要限制先进微芯片技术出口，理由是国家安全。没多久，详细规则就出来了，直接瞄准了ASML的深紫外浸没式光刻系统，这些设备是制造中高端芯片的核心工具。美国那边也没闲着，同步扩大实体清单，把更多中国企业拉进去，意图就是堵死技术流入的通道。

荷兰的举动明显受美国影响，毕竟ASML这家公司虽然在荷兰，但技术链条上离不开美国零部件。2023年3月，荷兰贸易部长通过议会信件宣布出口管制意向，6月30日规则细则落地，9月1日正式执行。这套措施不光禁新设备出口，还盯上了已经卖到中国的机器。

10月，美国商务部进一步升级，管制范围扩展到软件和技术服务。荷兰跟进得很快，2024年1月就撤销了部分对华出口许可证，导致ASML没法发货一些订单。整个过程，美国官员在国会听证会上反复强调中国技术进步构成风险，荷兰官员也附和，说这关乎技术安全。

中国半导体企业面对这些压力，只能加速自力更生。上海微电子装备集团就是典型代表，他们从2010年代就开始投入巨资研发本土光刻机。2023年初，SSA600系列问世，支持28纳米制程，虽然比不上ASML的最顶尖产品，但这已经是零的突破。

设备用193纳米激光源，数值孔径1.35的浸没式镜头，每小时处理晶圆超过100片，还通过了长时间稳定性测试。中芯国际等厂家开始测试兼容性，逐步融入生产线。这一步让中国在中端芯片制造上有了底气，不再完全依赖进口。

美荷两国看到中国有进展，反应更激烈了。2024年4月，美国敦促荷兰停止为中国境内设备提供维修服务，荷兰政府同意，从2024年底开始不续签某些许可证。这意味着已售机器可能慢慢报废，变成一堆废铁。

荷兰外贸部长在社交媒体上发帖，说这些措施针对先进军事应用的芯片出口，必须申请许可。美国智库报告接连出炉，列出所谓知识产权纠纷，暗示中国技术靠逆向工程得来，不是真正创新。荷兰媒体也报道ASML员工数据被盗事件，指向中国企业，强化了这种质疑氛围。

2025年，美荷协调更紧密。1月15日，荷兰调整出口规则，让ASML的部分工具必须向荷兰政府申请许可证，而不是华盛顿。这步棋对齐了美国去年10月的管制，针对TWINSCAN NXT:1970i和1980i等DUV系统。

9月7日生效的新规，进一步扩大许可要求，中国商务部发言人直指这是美国胁迫的结果，对荷兰决定表示不满。ASML在12月2日发布声明，说2025年净销售额预计30亿到35亿欧元，中国业务占比约20%，承认管制有影响，但落在预期内。

中国这边没停下脚步。超过300家企业投入纳米压印等替代技术路径，哈尔滨工业大学在核心部件上取得新进展。2025年2月，一家新公司先进微电子装备成立，快速发货500台步进式光刻机，吸引国内中小代工厂订单。这些努力让产业链闭环逐步形成，从光刻胶到掩膜版，本土化率稳步提升。中芯国际调整产线，兼容国产设备，中小厂商看中低价和稳定供应，纷纷转向本土产品。

彼得·温尼克作为ASML前CEO，从2013年7月1日上任到2024年4月退休，一直在处理这些地缘压力。他在采访中说管制基于意识形态，会逼中国加速创新。继任者克里斯多夫·富凯从2024年4月25日接手，继续应对销售额下滑，审查财报，调整全球订单。上海微电子装备集团董事长甘频领导下，公司从2002年3月7日成立以来，员工扩到1500多人，与高校合作攻克难题，实现从基础光学到完整光刻系统的转变。

美荷的批评不光是技术层面，还带点经济算计。中国是全球最大半导体消费市场，ASML的DUV市场份额超70%，高端总份额达90%。管制导致对华销售额下降20%，仓库积压库存，董事会会议上数字报告显示不确定性增加。全球半导体生态悄然变化，中国市场引力让封锁策略反噬自身，技术垄断渐渐弱化。