彻底不装了？ASML：中国光刻机技术是“偷”来的，外媒：简直可笑

荷兰的ASML这家公司，在芯片设备领域那可是老大，专攻光刻机这种高精尖玩意儿。2023年2月15日，他们发了2022年的财报，顺带提了一句，说有个前中国员工涉嫌不当获取公司专有技术数据。

这数据跟他们的光刻设备核心模块有关，但ASML没细说到底丢了啥，也没提损失多大。财报出来后，ASML又发了个声明，说最近这类尝试多了起来，他们已经加强了内部安全措施。

那个员工背景是啥呢？据荷兰媒体2023年10月23日报道，这人之前在ASML中国分支干技术支持，离职后转去了华为。

ASML的调查是从2022年底开始的，通过查内部数据访问记录，发现了异常，就报告给了荷兰当局。到现在2025年10月，这案子还没进法庭，就停在指控阶段。

回溯一下，这不是ASML头一次冲着中国企业发难。早在2022年2月9日，他们的2021年报里就点名了中国企业东方晶源，说这家公司的产品可能侵犯了他们的专利。

ASML还列出了东方晶源跟之前硅谷一家叫XTAL的公司有联系，那XTAL在2019年被ASML在美国法院告赢了，赔了8.45亿美元，因为偷源代码。ASML就要求全球客户别跟东方晶源合作，免得卷进法律麻烦。

东方晶源很快就回击了，2022年2月12日发声明否认一切，说自己的技术是独立搞出来的，没用外部知识产权。ASML的声明没啥硬证据，就靠关联猜，搞得供应链一时乱套，有些客户确实暂停了采购东方晶源的检验设备。

ASML这么干，基于他们之前的经验，比如2018年XTAL案，那时候XTAL创始人和中国背景的人合作过，所以ASML对中国市场审查更严了。

ASML的老板彼得·温尼克在2021年11月的一个行业会上说过，中国市场对他们销售贡献大，2021年卖了23亿美元，但同时也担心技术扩散。

他觉得中国短期内难独立造极紫外光刻设备，因为供应链太复杂，得靠全球上百家供应商。到了2022年1月，温尼克在采访里改口，说中国可能三年内掌握技术，这因为看到中国科研机构投入加大。

2022年7月，他又说物理原理到处一样，中国有潜力造顶级光刻机，这显示ASML对竞争的看法变了。公司文件里，这些话是为了稳投资者，同时对付美国出口管制压力。

这边中国光刻设备研发也没闲着，从2022年起就加速了。国望光学2022年1月开始招标建生产基地，针对光学系统和精密装配，目标是28纳米以下工艺的曝光设备国产化。

这基地2023年中期投用，第一批设备测试集成电路制造，解决了投影光刻光学系统的卡脖子问题。中科院上海光机所2022年上半年拆解极紫外光刻机组件，还发了招聘公告，招光学工程师和精密机械专家，总岗位超50个。

重点在光源和掩膜技术上，建完整实验平台。到2023年底，他们完成了初步光源测试，用稳态微束聚方式产生高功率极紫外光。

2024年，中国在极紫外领域有新动静，清华大学的稳态同步辐射极紫外项目拿了37亿欧元资金，建大型加速器。从2022年概念验证，到2025年3月实验验证，华为在东莞基地测试组件，本土设备初步集成。

国望光学2024年下半年出了改进型深紫外曝光系统，能用在14纳米工艺，缓解了进口依赖。ASML在2024年10月财报会上又提监控类似事件，但承认中国市场还占他们业务20%以上。

这些事儿串起来看，ASML的指控从2022年初专利警告，到2023年中期数据窃取声明，中国研发也没停步，没明显受影响。

整个过程还牵扯国际贸易，美国2022年10月加强出口管制，限ASML卖先进设备给中国，这让ASML在2023年2月报告里强调知识产权保护。

公司审计扩展到所有分支，2023年全年报了多起可疑访问，但只公开了中国案。东方晶源2023年继续运营，出新款电子束检验机，在本土市场份额涨了。

到2025年7月，中国半导体协会报告，本土光刻设备覆盖率从2022年的15%升到35%，靠政府资金和企业合作。ASML的举动虽闹出短期风波，但没引发大规模法律战，焦点转到技术自立上。

ASML在报告里暗示，中国光刻技术进步是因为前员工带走数据，把这些成就说成不当手段得来，但没给数据细节或法律证据。

外媒报道里，有人质疑这指控没底气，因为ASML就靠年度报告发声，没后续调查更新，有些分析说这更像预防措施，不是事实支撑。东方晶源否认一切，强调自主研发，媒体还质疑ASML用市场地位压人，类似对华为的限制。

ASML在2021年和2022年销售额中，中国贡献23亿美元，但同时施压限合作。温尼克2022年7月说，美国出口管制可能加剧芯片短缺，但没直接缓和竞争担心。

中国企业回应时，坚持自己路径，没依赖外部知识产权。媒体分析，ASML怕中国赶超，因为极紫外光刻机全球独供地位受挑战。公司2023年2月后，继续盯类似事件，但没更新指控进展。

中国光刻研发继续往前，到2025年有极紫外光源突破，清华项目资金到位，上海光机所建测试平台，华为参与验证，本土设备初步成型。

ASML员工案还没法庭结果，中国企业坚持否认，倪光南院士说核心技术得靠自己。竞争激烈下，ASML担心变现实，中国从深紫外到极紫外转型进关键期，市场份额慢慢移。