ASM取得能够选择性地在其斜角区域中处理薄膜的衬底处理设备相关专利

金融界2025年6月10日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP私人控股有限公司取得一项名为“衬底支撑板、包括它的衬底处理设备以及衬底处理方法”的专利,授权公告号CN112992637B,申请日期为2020年11月。

本文源自金融界

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更新时间:2025-06-13

标签:科技   衬底   斜角   选择性   薄膜   区域   专利   设备   金融界   国家知识产权局   私人   本文   日期   消息   方法   公告

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