半导体产业的最后一块“硬骨头”,终于被摆上了台面。
光刻机大家都在关注,刻蚀机突破也频频刷屏,但很多人不知道,中国最卡脖子的,其实还有一块几乎全靠进口的设备——套刻测量机。
这东西被称为“光刻机的伴侣”,没有它,芯片造不出,制程再先进也白搭。
目前全球市场上,KLA和ASML两家独霸90%以上的份额,中国大陆需求却占到30%。
换句话说,我们是大客户,却连个像样的国产替代都没有,完全受制于人。
随着AI和高性能芯片的爆发,这个隐形短板被无限放大,风险不容忽视。
为什么套刻测量设备这么要命?因为芯片不是一层就能造出来,而是几十上百层电路叠起来的。
每一层都必须精准对齐,误差超过几纳米就可能全盘报废。
28纳米工艺要求误差小于6纳米,到了5纳米,精度必须控制在2.5纳米以内。
测量设备本身还得做到0.6纳米以下的精度,还要保证每小时能检测150片晶圆,稳定性误差要压到0.3纳米。
听起来匪夷所思,但这就是半导体的残酷。
KLA凭着二十多年的积累,用图像测量技术牢牢卡住市场;ASML则靠衍射测量加上“买光刻机送套刻机”的套路,抢下三成份额。
存储厂爱KLA,逻辑厂偏ASML,但无论哪种,中国人只能买,没得选。
更扎心的是,国内前道量测设备国产化不足5%,而套刻设备几乎是零。
2024年光中国市场规模就有4.5亿美元,未来“十四五”晶圆厂投资过万亿,套刻设备需求接近90亿人民币。
如果还被卡住,整个产业链就等于在敌人手里捏着脖子,好消息是,国内有人在硬刚了。
无锡埃瑞微半导体设备公司,核心团队就是KLA上海研发中心出来的,原来主导过Archer 500的开发,经验全套带过来。
他们是国内唯一同时掌握图像测量和衍射测量两条路线的企业,不是单点突破,而是双手准备。
更值得一提的是,他们没走依赖进口零件的老路,而是选择跟国内供应商深度绑定,把技术和设计能力反哺供应链。
这一招,不光让关键零部件逐步国产化,还能把整个生态一起拉起来,这才是解决卡脖子最靠谱的方式。
目前,埃瑞微已经拿出第一代产品,能覆盖28-14纳米工艺,对标KLA的Archer 500,支持200/300毫米晶圆,核心性能已经对齐国际先进水平。
更重要的是,他们计划两年内推出7纳米以下制程的设备,这要是真上量,就是历史性突破,未来市场摆在眼前。
28纳米逻辑线每万片产能就需要3台套刻机,14纳米要3到4台,更先进的制程需求更密集。
AI算力芯片扩产一波波,80%的需求都集中在先进制程。
这个蛋糕,中国厂商必须咬下一口,否则永远被人牵着鼻子走。
更新时间:2025-09-09
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