光刻机巨头开始慌了，中国造不成光刻机，但是要造一个光刻工厂！

荷兰的ASML公司，在半导体设备这块一直是大哥级的存在，主要靠卖极紫外光刻机挣钱，这些机器是做先进芯片的关键工具。2023年1月25日，ASML的老板彼得·温宁克在公司财报会上说，美国主导的出口管制会让中国更快地搞出自己的光刻设备。

他觉得中国有那么多聪明人，能想出办法绕过技术壁垒，当时中国客户已经占了公司销售额的15%左右。温宁克的这话不是随便说说，公司数据摆在那，中国市场对他们的营收贡献不小，要是丢了就麻烦大了。

接着，2023年4月26日，温宁克接受路透社采访，又提了一次，说政治干预会拖慢整个半导体行业的脚步。要是继续限出口，中国就会自己生产类似设备，这不光影响ASML的收入，还会让西方公司在技术上丢掉优势。公司第一季度对中国的出货量已经占了总量的不少份额，需求旺得很。温宁克反复强调，西方试图通过禁技术转移和设备出口来隔离中国，结果只会让中国更卖力地自研，反而让西方自己吃亏。

下半年情况没变，2023年9月9日，温宁克在行业论坛上直接说，完全切断与中国技术联系的做法没戏，这种隔离只会刺激中国加大创新，因为中国有海量专业人才，能找出专利外的替代路子。他还举例，出口管制已经导致一些订单推迟，但中国客户还是在找其他方式满足生产需要。公司全年营收276亿欧元，中国市场占29%，第三季度甚至高达46%。温宁克的这些表态，基于公司财务现实，中国订单堆积，推动了营收增长，但也暴露了潜在风险，要是中国自己搞定，本土替代品一上来，ASML的销售就得下滑。

2023年10月18日，温宁克又说，美国的新出口限制影响了公司对中国的15%销售，但中国对成熟技术的需求还是强。公司还发现，一个额外产品现在也能被限了，本来荷兰的出口规则没管，但美国规则一变就卡住了。温宁克觉得，忽视中国市场规模会带来长期麻烦，因为中国半导体需求在拉动全球产能扩张。公司内部，中国安装的设备超过几千台，这些都需要维护，这成了保持关系的砝码。要是服务也限了，中国自研就会更快推进，比如在光源和光学系统上动脑筋。

这些年，ASML从自信到有点警觉，温宁克的表态成了行业信号，影响了政策讨论和公司策略调整。公司还加强了中国本地服务团队，以应对出口冲击。温宁克指出，中国半导体投资基金规模超过千亿美元，这不光推高了需求，还加速了本土研发。公司股价也跟着波动，投资者开始重新看全球供应链的稳不稳。温宁克的观点，通过数据和案例撑着腰，比如引用中国人才资源和创新潜力，说隔离中国没用，只会逼他们更强。

2024年1月，温宁克在股东会上再提，技术共享是行业进步的必须品，过度限只会让对手冒头。公司报告显示，2023年中国订单 backlog 帮了大忙，但未来竞争会更猛。2024年4月24日，温宁克正式退休，接班人是克里斯托夫·富凯，原来是公司首席业务官。退休前，温宁克在最后财报会上总结，过去十年和中国合作贡献了不少营收，但以后得面对更激烈的环境。他的走人，标志着ASML进入新阶段，得继续应对地缘因素。

退休后，ASML还是得面对中国市场的压力。2024年，公司说美国限了部分中国设备的维护，不能用美国零部件，这不影响收益，但长远看是个信号。富凯上台后，公司预计2025年中国销售会降到20%左右，但实际需求比预想强，第三季度中国占了42%。公司否认这是囤货引起的，说是政策和宏观需求的作用。2025年10月15日，公司报告净销售75亿欧元，全年预计增长15%，靠先进芯片和AI投资顶着，但中国部分会显著下滑，到2026年更明显。

中国这边，在光刻领域卡在专利上，尤其是光源小型化，国外设备小型设计难复制。清华大学从2017年组队，专攻稳态微聚束极紫外光源技术。2021年，他们完成初步实验，用1.064微米波长的激光器调制，脉冲宽度0.8到3纳秒，峰值功率22千瓦。2022年，搞出功率超1千瓦的光源方案，测试光学腔，稳定锁定4小时，效率56%。这种技术用环形加速器产生13.5纳米辐射，能供多台设备用，形成大生产体系，占地几百平方米，中国地多，不愁地方，就这么绕过小型化难题。

SSMB EUV的思路，是用大加速器做光源，带动多台光刻机，建超大规模工厂。比方说，光刻像打印，荷兰卖打印机，但精密部件中国难造，那就开印刷厂，一个大光源管多条线，满足需求就行，不用卖设备，基建而已。清华团队2024年和德国合作，相位锁定实验推进。2025年7月24日，清华在极紫外光刻胶上又有进展，开发出基于聚碲酮的材料，提高分辨率和敏感度，国内KrF/ArF光刻胶自产率还不到5%，EUV全靠进口，这步帮了大忙。

国家层面，2025年2月11日，中国投370亿欧元，支持本土极紫外光刻系统开发。这笔钱瞄准打破ASML垄断，系统计划2025年第三季度试生产，2026年批量制造。华为在东莞测试部件，结合自研芯片推进。2023年8月29日，华为Mate60系列出街，用SMIC的7nm芯片，靠DUV技术多重曝光搞定，证明中国在成熟节点上能自给，虽然没用EUV，但显示出绕弯子的能力。这手机支持5G，芯片性能超预期，让外界看到中国半导体韧性。

这些进展，让ASML市场份额感受到挤压。中国不再全靠进口，自主路越走越宽。ASML 2025年预计中国占总销售25%以上，但长远看，本土设备一上来，巨头影响力就弱了。公司呼吁调整出口政策，保持合作，避免丢市场。中国通过大工厂模式，逐步缩小差距，技术虽没全超，但速度快，决心大。半导体领域，其他突破如华为手机，远超想象，推动整个行业往前。

整体上，这事反映出全球供应链的拉锯。ASML从2023年的担忧，到2025年的销售调整，中国从技术追赶到投资大动作，步步实打实。未来，中国EUV系统要是批量了，行业格局得变。ASML新老板得继续应对，中国本土化会让竞争更白热化，但也可能带出新机会。总的说，这不是谁赢谁输那么简单，而是技术扩散的必然，靠限是挡不住的。