离子注入机实现“山东造”

近日，在济南高新区山东产业技术研究院内，济南市艾恩半导体科技有限公司的车间里一片忙碌，工作人员正在对一台离子注入机进行紧张的调试安装。

离子注入机是芯片制造的关键装备，在芯片制造过程中，离子注入是仅次于光刻工艺的重要环节，其注入效果决定了芯片内部结构器件最基本、最核心的电学性能。

目前，艾恩半导体自主研发制造的第一代碳化硅离子注入机已推向市场，正由芯片制造厂商进行验证。新工厂生产的第一台硅基中束流离子注入机也已进入最终安装调试阶段，预计下线后将交付山东某芯片制造企业。此外，对标国际领先技术水平的第二代碳化硅离子注入机正在研发中，有望于今年9月面市;自主研发制造的碳化硅大束流离子注入机，预计年底推向市场。

据了解，一台离子注入机需要近2万个零部件，覆盖高压电子、机械、计算机控制、等离子体物理等多个高端学科。据介绍，离子注入机过半的零部件在山东即可配套。(济南日报·爱济南记者 张刚 摄)