易安爱富申请提高金属膜蚀刻特性的蚀刻组合物及蚀刻方法专利，提高单一金属膜或多重金属膜的蚀刻特性

金融界2025年5月21日消息，国家知识产权局信息显示，易安爱富科技有限公司申请一项名为“蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法”的专利，公开号CN120006292A，申请日期为2020年03月。

专利摘要显示，本发明涉及一种蚀刻组合物及利用其的金属膜的蚀刻方法，详细地，提供一种提高单一金属膜或多重金属膜的蚀刻特性的蚀刻组合物、利用其的金属膜的蚀刻方法以及包括利用本发明的蚀刻组合物而进行的工序的半导体元件的制造方法。

本文源自金融界